上海华力集成电路制造有限公司周侃获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利修正FOV图像对准误差的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115394700B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210936421.X，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权修正FOV图像对准误差的方法是由周侃;郭鑫;周文湛设计研发完成，并于2022-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本修正FOV图像对准误差的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种修正FOV图像对准误差的方法，获取FOV图像以及与其对应的版图设计文件，FOV图像包括多个不规则图形；根据FOV图像中间部分的不规则图形与版图设计文件对准；根据每个不规则图形将FOV图像分割成多个局部图像；根据每个局部图像与版图设计文件对准。本发明针对局部扫描电子显微镜图像做对准，降低由于图像拍摄带来的对准误差。
本发明授权修正FOV图像对准误差的方法在权利要求书中公布了：1.一种修正FOV图像对准误差的方法，其特征在于，至少包括： 步骤一、获取FOV图像以及与其对应的版图设计文件，所述FOV图像包括多个不规则图形； 步骤二、根据所述FOV图像中间部分的所述不规则图形与所述版图设计文件对准，在所述FOV图像中间部分的所述不规则图形与所述版图设计文件对准共用同一参考系； 步骤三、根据每个所述不规则图形将所述FOV图像分割成多个局部图像； 步骤四、根据每个所述局部图像与所述版图设计文件对准，每个所述局部图像与所述版图设计文件对准共用同一参考系。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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