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宁波大学邱朝辉获国家专利权

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龙图腾网获悉宁波大学申请的专利一种电极结构射频相位可调的离子漏斗及电压加载方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115954258B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211553858.1,技术领域涉及:H01J49/06;该发明授权一种电极结构射频相位可调的离子漏斗及电压加载方法是由邱朝辉;徐福兴;王伟民;李哲;丁传凡设计研发完成,并于2022-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种电极结构射频相位可调的离子漏斗及电压加载方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种电极结构射频相位可调的离子漏斗及电压加载方法,涉及射频电压加载技术领域,离子漏斗包括叠加而成的第一类组电极和第二类组电极,所述第一类组电极由内径相等的多组环形电极进行叠加,所述第二类组电极由多组环形电极的内径呈线性递减进行叠加,所述环形电极由四片内径相同的电极片组成;在形成一个非闭合的所述环形电极的四片所述电极片中,相邻的所述电极片之间加载相同幅值、不同相位的射频电压。本装置通过该电极结构,并采用交叉式的射频电压加载方法,在传输离子过程中获得更好的离子聚焦和高效传输效率。同时还能提高对低质荷比离子的传输,有效改善离子漏斗中对低质荷比离子传输效率低的问题。

本发明授权一种电极结构射频相位可调的离子漏斗及电压加载方法在权利要求书中公布了:1.一种电极结构射频相位可调的离子漏斗的电压加载方法,其特征在于,所述的离子漏斗包括叠加而成的第一类组电极和第二类组电极,所述第一类组电极由内径相等的多组环形电极进行叠加,所述第二类组电极由多组环形电极的内径呈线性递减进行叠加,所述环形电极由四片内径相同的电极片组成;在形成一个非闭合的所述环形电极的四片所述电极片中,相邻的所述电极片之间加载相同幅值、不同相位的射频电压;相邻的所述环形电极之间加载相同幅值、不同相位的射频电压,并加载直流梯度电压用于驱动离子向离子漏斗出口方向移动;通过调节射频电压的频率、幅值和直流梯度电压使不同质荷比的离子在离子漏斗中进行传输;所述环形电极为圆弧电极或半圆柱电极或双曲面电极;所述方法包括步骤: S1:将离子漏斗的环形电极分为四段,并在分段后的离子漏斗电极结构上分别按照第一预设加载流程、第二预设加载流程、第三预设加载流程和第四预设加载流程施加射频电压;其中,射频幅值和频率相同; S2:经第一预设加载流程在同一轴向方向上的相邻电极施加相位相反的射频电压,并在同一径向方向上相邻电极施加相位相同的射频电压; S3:经第二预设加载流程在同一轴向方向上的相邻电极施加相位相反的射频电压,并在同一径向方向上相邻电极也施加相位相反的射频电压; S4:经第三预设加载流程在同一轴向方向上的相邻电极施加相位相反的射频电压,在同一径向方向上相邻电极之间的射频电压相位相差 S5:经第四预设加载流程在同一轴向方向上的相邻电极射频电压相位相差在同一径向方向上相邻电极之间的射频电压相位相差 S6:在同一轴向位置的电极施加相同的直流电压,沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 其中,所述第一预设加载流程为: 在圆弧电极结构中,对第一圆弧电极片和第三圆弧电极片施加相同相位射频电压,在第二圆弧电极片和第四圆弧电极片施加与第一圆弧电极片和第三圆弧电极片相反相位的射频电压; 在径向方向上,对与第一圆弧电极片和第三圆弧电极片同一径向方向上的相邻电极施加相同相位的射频电压,与第二圆弧电极片和第四圆弧电极片同一径向方向上的相邻电极也施加相同相位的射频电压,并同时在同一轴向位置的圆弧电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 在半圆柱电极结构中,对第一半圆柱电极片和第三半圆柱电极片施加相同相位射频电压,在第二半圆柱电极片和第四半圆柱电极片施加与第一半圆柱电极片和第三半圆柱电极片相反相位的射频电压; 在径向方向上,对与第一半圆柱电极片和第三半圆柱电极片同一径向方向上的相邻电极施加相同相位的射频电压,与第二半圆柱电极片和第四半圆柱电极片同一径向方向上的相邻电极也施加相同相位的射频电压,并同时在同一轴向位置的半圆柱电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 在双曲面电极结构中,对第一双曲面电极片和第三双曲面电极片施加相同相位射频电压,在第二双曲面电极片和第四双曲面电极片施加与第一双曲面电极片和第三双曲面电极片相反相位的射频电压; 在径向方向上,对与第一双曲面电极片和第三双曲面电极片同一径向方向上的相邻电极施加相同相位的射频电压,与第二双曲面电极片和第四双曲面电极片同一径向方向上的相邻电极也施加相同相位的射频电压,并同时在同一轴向位置的双曲面电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 其中,所述第二预设加载流程为: 在圆弧电极结构中,对第一圆弧电极片和第三圆弧电极片施加相同相位的射频电压,在第二圆弧电极片和第四圆弧电极片施加与第一圆弧电极片和第三圆弧电极片相反相位的射频电压; 在径向方向上,对与第一圆弧电极片和第三圆弧电极片同一径向方向上的相邻电极施加相反相位的射频电压,与第二圆弧电极片和第四圆弧电极片同一径向方向上的相邻电极也施加相反相位的射频电压,并同时在同一轴向位置的圆弧电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 在半圆柱电极结构中,对第一半圆柱电极片和第三半圆柱电极片施加相同相位的射频电压,在第二半圆柱电极片和第四半圆柱电极片施加与第一半圆柱电极片和第三半圆柱电极片相反相位的射频电压; 在径向方向上,对与第一半圆柱电极片和第三半圆柱电极片同一径向方向上的相邻电极施加相反相位的射频电压,与第二半圆柱电极片和第四半圆柱电极片同一径向方向上的相邻电极也施加相反相位的射频电压,并同时在同一轴向位置的半圆柱电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 在双曲面电极结构中,对第一双曲面电极片和第三双曲面电极片施加相同相位的射频电压,在第二双曲面电极片和第四双曲面电极片施加与第一双曲面电极片和第三双曲面电极片相反相位的射频电压; 在径向方向上,对与第一双曲面电极片和第三双曲面电极片同一径向方向上的相邻电极施加相反相位的射频电压,与第二双曲面电极片和第四双曲面电极片同一径向方向上的相邻电极也施加相反相位的射频电压,并同时在同一轴向位置的双曲面电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 其中,所述第三预设加载流程为: 在圆弧电极结构中,对第一圆弧电极片和第三圆弧电极片施加相同相位的射频电压,在第二圆弧电极片和第四圆弧电极片施加与第一圆弧电极片和第三圆弧电极片相反相位的射频电压; 在径向方向上,每相邻的圆弧电极的射频电压相位相差并同时在同一轴向位置的圆弧电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 在半圆柱电极结构中,对第一半圆柱电极片和第三半圆柱电极片施加相同相位的射频电压,在第二半圆柱电极片和第四半圆柱电极片施加与第一半圆柱电极片和第三半圆柱电极片相反相位的射频电压; 在径向方向上,每相邻的半圆柱电极的射频电压相位相差并同时在同一轴向位置的半圆柱电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 在双曲面电极结构中,对第一双曲面电极片和第三双曲面电极片施加相同相位的射频电压,在第二双曲面电极片和第四双曲面电极片施加与第一双曲面电极片和第三双曲面电极片相反相位的射频电压; 在径向方向上,每相邻的双曲面电极的射频电压相位相差并同时在同一轴向位置的双曲面电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 其中,所述第四预设加载流程为: 在圆弧电极结构中,四个圆弧电极片施加相位相差的射频电压,在径向方向上,每相邻的圆弧电极的射频电压相位也相差并同时在同一轴向位置的圆弧电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 在半圆柱电极结构中,四个半圆柱电极片施加相位相差的射频电压,在径向方向上,每相邻的半圆柱电极的射频电压相位也相差并同时在同一轴向位置的半圆柱电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压; 在双曲面电极结构中,四个双曲面电极片施加相位相差的射频电压,在径向方向上,每相邻的双曲面电极的射频电压相位也相差并同时在同一轴向位置的双曲面电极施加相同的直流电压,在沿电极内径减小的径向方向上通过电阻施加线性递减的直流电压,形成离子漏斗的直流梯度电压。

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