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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利一种基于相干可控激光的多表面形貌测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116222426B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310222112.0，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种基于相干可控激光的多表面形貌测试方法是由韩志刚;陈佳乐;李方欣;朱日宏;赵鑫洋;芮九多;杨振营;李俊博设计研发完成，并于2023-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于相干可控激光的多表面形貌测试方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于相干可控激光的多表面形貌测试方法，使用宽带白噪声源、滤波器、可调射频衰减器、射频放大器、直流驱动电源、偏置器模块和半导体激光器构成相干可控激光光源；针对平行平板类光学元件多表面干涉特性，使用宽带白噪声电流调制半导体激光器获得高旁瓣抑制比的短相干光，避免多表面干涉条纹串扰；使用可调射频衰减器调节白噪声信号强度，实现自长相干到短相干的相干长度可控，逐步缩短干涉条纹存在区间，快速定位干涉测量零光程差位置，完成多表面干涉元件形貌的测量。与现有方法相比，本发明提出的方法在增加了零光程差位置定位速度的同时，提高了多表面形貌测试的测量精度、装置集成度和简易性，更适宜于产业化。

本发明授权一种基于相干可控激光的多表面形貌测试方法在权利要求书中公布了：1.一种基于相干可控激光的多表面形貌测试方法，其特征在于，步骤如下： 步骤1、将相干可控激光光源与干涉仪（12）通过光纤接头（11）连接，转入步骤2； 其中，相干可控激光光源包括依次连接的宽带白噪声源（1）、第一射频连接线（2-1）、滤波器（3）、第二射频连接线（2-2）、可调射频衰减器（4）、第三射频连接线（2-3）、射频放大器（5）、第四射频连接线（2-4）、偏置器模块（6）、第五射频连接线（2-5）、半导体激光器（9）、保偏光纤（10）；还包括通过导线（7）连接在偏置器模块（6）上的直流驱动电源（8）；保偏光纤（10）通过光纤接头（11）连接干涉仪（12）； 步骤2、将多表面干涉元件（13）置于干涉仪（12）内的测试光路中，控制干涉腔长使测试光路光程大于参考光路1~3cm，转入步骤3； 步骤3、开启直流驱动电源（8），半导体激光器（9）输出长相干激光，观察干涉仪（12）中的偏振相机接收到多表面干涉条纹，调节多表面干涉元件（13）俯仰、倾斜姿态，使其对应的两组干涉条纹显示清晰，转入步骤4； 步骤4、先开启宽带白噪声源（1），再开启射频放大器（5），逐步减小可调射频衰减器（4）衰减量，观察干涉仪（12）中偏振相机接收的灰度图像干涉条纹的存在情况，并在此过程中向着干涉仪（12）的测试光路光程减小方向前后移动多表面干涉元件（13），使偏振相机接收图像中存在干涉条纹，并继续减小可调射频衰减器（4）的衰减量，相干可控激光光源的相干长度随可调射频衰减器（4）的衰减量减小而缩短，当相干可控激光光源的相干长度低于多表面干涉元件（13）厚度时，光源表现为短相干光源，此时多表面干涉元件（13）上的多组干涉条纹串扰消失，转入步骤5； 步骤5、重复步骤4，直到可调射频衰减器（4）衰减量达到最小时，进一步调节多表面干涉元件（13）的前后位置，使偏振相机接收图像中干涉条纹存在且对比度最佳，即多表面干涉元件（13）前表面达到干涉仪（12）的零光程差位置，通过干涉仪（12）中的偏振相机采集当前的干涉条纹图，通过四步移相算法解算获得多表面干涉元件（13）前表面的表面形貌，转入步骤6； 步骤6、继续向着干涉仪（12）的测试光路光程减小方向移动多表面干涉元件（13），偏振相机接收图像中干涉条纹对比度再次最佳时，多表面干涉元件（13）后表面达到干涉仪（12）的零光程差位置，通过干涉仪（12）中的偏振相机采集当前的干涉条纹图，通过四步移相算法解算获得多表面干涉元件（13）后表面的表面形貌。

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