株式会社荏原制作所安田慎吾获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利镀覆方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119768568B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202480003737.0，技术领域涉及：C25D21/12；该发明授权镀覆方法是由安田慎吾设计研发完成，并于2024-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀覆方法在说明书摘要公布了：提供能够实现凸块的高度的均匀化的技术。镀覆方法包括：获取开口密度变化方向Dr2；使获取到开口密度变化方向的基板Wf保持于基板支架30；使保持于基板支架的基板以与阳极对置的方式浸渍于镀覆液Ps的内部；执行第一镀覆处理，在该第一镀覆处理中，一边使基板支架旋转并且通过搅拌机构60搅拌镀覆液，一边使电源80供给正向电流；执行第二镀覆处理，在该第二镀覆处理中，在开口密度变化方向与被搅拌机构搅拌的镀覆液的流动方向Dr1不平行的状态下且在使基板支架的旋转停止的状态下，一边通过搅拌机构搅拌镀覆液，一边使电源供给反向电流脉冲；以及再次执行上述第一镀覆处理。
本发明授权镀覆方法在权利要求书中公布了：1.一种镀覆方法，其特征在于，包括： 获取设置于基板的光致抗蚀剂层的开口密度变化的方向亦即开口密度变化方向； 使获取到所述开口密度变化方向的所述基板保持于基板支架； 使保持于所述基板支架的所述基板以与阳极对置的方式浸渍于镀覆槽的镀覆液的内部，所述镀覆槽贮存含有促进镀覆的促进剂的所述镀覆液，并且配置有所述阳极； 执行第一镀覆处理，在所述第一镀覆处理中，一边使所述基板支架旋转并且通过搅拌机构搅拌所述镀覆液，一边使构成为向所述基板与所述阳极之间供给电流的电源供给用于使金属从所述镀覆液析出到所述基板的正向电流； 执行第二镀覆处理，在所述第二镀覆处理中，在所述开口密度变化方向与被所述搅拌机构搅拌的所述镀覆液的流动方向不平行的状态下且在使所述基板支架的旋转停止的状态下，一边通过所述搅拌机构搅拌所述镀覆液，一边使所述电源供给向与所述正向电流相反的方向呈脉冲状流动的电流亦即反向电流脉冲；以及 再次执行所述第一镀覆处理。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社荏原制作所，其通讯地址为：日本；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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