东领科技装备有限公司林国东获国家专利权
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龙图腾网获悉东领科技装备有限公司申请的专利一种用于半导体原子层沉积工序中晶圆搬运机器人的水平调整装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223123880U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420695056.2，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种用于半导体原子层沉积工序中晶圆搬运机器人的水平调整装置是由林国东;刘载安设计研发完成，并于2024-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体原子层沉积工序中晶圆搬运机器人的水平调整装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于半导体原子层沉积工序中晶圆搬运机器人的水平调整装置，涉及晶圆搬运机器人技术领域。包括四个晶圆支撑臂，所述四个晶圆支撑臂上均连接有水平调整台，所述水平调整台上连接有连接滑块，所述连接滑块上连接有导轨及导轨滑块和双向滚珠丝杆，所述导轨及导轨滑块上连接有导轨支撑架，所述双向滚珠丝杆上连接有轴承以及轴承固定环，所述导轨支撑架和轴承上连接有底部连接件和上部连接件，所述上部连接件上连接有电机。本实用新型通过用皮带和滑轮装置同步控制两个双向滚珠丝杆，再通过导轨以及导轨滑块、连接滑块、水平调整台、晶圆支撑臂的配合，从而确保了四个晶圆支撑臂之间等距张开和并拢。
本实用新型一种用于半导体原子层沉积工序中晶圆搬运机器人的水平调整装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体原子层沉积工序中晶圆搬运机器人的水平调整装置，其特征在于，包括第一晶圆支撑臂1、第二晶圆支撑臂2、第三晶圆支撑臂3、第四晶圆支撑臂4四个晶圆支撑臂，所述四个晶圆支撑臂上均设置用于调节晶圆支撑臂水平的晶圆支撑臂顶丝孔13，所述四个晶圆支撑臂上均连接有水平调整台5，所述的水平调整台5上均设置有用于调整水平调整台水平的水平调整台顶丝孔14，所述水平调整台上连接有连接滑块6，所述连接滑块6上连接有导轨及导轨滑块12和左侧双向滚珠丝杆9和右侧双向滚珠丝杆10。
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