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龙图腾网获悉东领科技装备有限公司申请的专利原子层沉积用进气装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119220956B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410549157.3，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权原子层沉积用进气装置是由张远昊;宋广伟;张小强设计研发完成，并于2024-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本原子层沉积用进气装置在说明书摘要公布了：本发明公开了原子层沉积用进气装置，涉及原子层沉积设备技术领域。本发明包括第一固定架和第二固定架，所述第一固定架的一侧依次设置有进气隔离管、对接隔离管、出气隔离管和排气隔离管，所述出气隔离管转动安装在所述第二固定架的底部，所述出气隔离管的周侧固定安装有多个均匀分布的吹气管，所述进气隔离管远离所述对接隔离管的一端滑动套接有两个进气管，两个所述进气管上设置有同一个控制气阀。本发明通过设置对接组件，使两种气体分别沿不同的进气管、回转软管、进气外套管、对接内套管和不同的气室进行传输，并从不同的吹气管中吹出，两种气体始终处于完全隔离状态，不会出现因气体滞留而产生反应物导致输气装置堵塞的情况发生。

本发明授权原子层沉积用进气装置在权利要求书中公布了：1.原子层沉积用进气装置，其特征在于，包括第一固定架1和第二固定架2，所述第一固定架1的一侧依次设置有进气隔离管3、对接隔离管5、出气隔离管4和排气隔离管6，所述出气隔离管4转动安装在所述第二固定架2的底部，所述出气隔离管4的周侧固定安装有多个均匀分布的吹气管10，所述进气隔离管3远离所述对接隔离管5的一端滑动套接有两个进气管7，两个所述进气管7上设置有同一个控制气阀8，所述进气隔离管3、所述出气隔离管4、所述对接隔离管5和所述排气隔离管6的内部均固定安装有隔离板9，四个所述隔离板9分别将所述进气隔离管3、所述出气隔离管4、所述对接隔离管5和所述排气隔离管6的内部均分为两个气室，两个所述进气管7分别与两个所述气室的位置相对应，所述第二固定架2上固定安装有回转电机11，所述回转电机11的输出端驱动安装有回转轴12，所述回转轴12的一端固定套接有回转齿轮13，所述出气隔离管4上固定套接有与所述回转齿轮13相啮合的从动齿环14，所述出气隔离管4的两端均固定安装有两个对接内套管15，四个所述对接内套管15分别与两个所述气室的位置相对应，所述对接隔离管5靠近所述出气隔离管4的一端固定安装有两个与所述对接内套管15相适配的进气外套管16，两个所述进气外套管16分别与两个所述气室的位置相对应，所述进气隔离管3和所述对接隔离管5上设置有对接组件； 所述对接组件用于驱动所述进气隔离管3和所述对接隔离管5行进，并使所述进气外套管16与所述对接内套管15对接进行输气； 所述对接组件包括固定安装于所述进气隔离管3和所述对接隔离管5之间的两个回转软管18，两个所述回转软管18分别与两个所述气室的位置相对应，所述对接隔离管5的一端上转动套接有稳定套架19，所述稳定套架19的一端滑动套接在所述进气隔离管3上，两个所述回转软管18均位于所述稳定套架19的内部，所述第一固定架1的一侧固定安装有进气电推杆17，所述进气电推杆17的伸缩端固定安装有行进套环20，所述行进套环20固定套接在所述稳定套架19上。

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