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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利光开关控制光学相控阵获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223123344U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421160887.6，技术领域涉及：G02F1/295；该实用新型光开关控制光学相控阵是由闫培光;李宗戈;梁耿钦;杨俊波;屈军乐设计研发完成，并于2024-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本光开关控制光学相控阵在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光开关控制光学相控阵，包括：硅基底、二氧化硅埋氧层和氮化硅层，二氧化硅埋氧层设置在硅基底的上表面，氮化硅层设置在二氧化硅埋氧层的上表面，相变材料异质层设置在二氧化硅埋氧层和氮化硅层的上表面，金属电极层设置在相变材料异质层的上表面。利用相变材料GST实现了片上集成的快速、低功耗光开关。GST材料在非晶态和晶态之间的可逆相变仅需纳秒量级,且两态间折射率差异显著,通过电极施加脉冲电压即可实现快速开关。与传统热光、电光效应开关相比,尺寸更小、功耗更低、速度更快,且工艺与CMOS电路兼容,易于集成。

本实用新型光开关控制光学相控阵在权利要求书中公布了：1.光开关控制光学相控阵，其特征在于，包括：硅基底n1、二氧化硅埋氧层n2和氮化硅层n4，二氧化硅埋氧层n2设置在硅基底n1的上表面，氮化硅层n4设置在二氧化硅埋氧层n2的上表面，相变材料异质层n3设置在二氧化硅埋氧层（n2）和氮化硅层（n4）的上表面，金属电极层（n5）设置在相变材料异质层（n3）的上表面； 所述氮化硅层n4包括：用于调控光分路的光开关模块1、用于控制端面出射OPA的异质集成氮化硅波导模块2、用于控制光栅出射OPA的异质集成氮化硅波导模块3，所述氮化硅层n4利用光开关模块1对输入光进行可控的光分路调节，在后两个模块可以选择光学相控阵的扫描方式和出射方式； 所述光开关模块1包括马赫-曾德尔干涉仪,其长臂两侧设置有第一电极1-1、第二电极1-2和第三电极1-3,第一电极1-1和第三电极1-3连接电源正极,第二电极1-2连接电源负极,通过电极对相变材料异质层n3施加电压,使相变材料相变,改变干涉臂的相位差,实现对后端光路的01信号分光调控； 所述端面出射OPA的异质集成氮化硅波导模块2包括N个并行的异质集成氮化硅波导2-1,2-2,…,作为光学相控阵的发射阵元,实现光线汇聚,对目标进行水平方向扫描成像。

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