无锡诚承电子科技有限公司方明江获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡诚承电子科技有限公司申请的专利一种精准控制束流聚焦的离子源注入机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223123864U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421560404.1，技术领域涉及：H01J37/21；该实用新型一种精准控制束流聚焦的离子源注入机是由方明江;蔡成振设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种精准控制束流聚焦的离子源注入机在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种精准控制束流聚焦的离子源注入机，包括离子束流系统和靶台，离子束流系统包括依次连接的气体箱、离子源、质量分析器、加速管及聚焦装置，气体箱与离子源产生离子束，经质量分析器筛选出杂质离子后由加速管加速射入聚焦装置，聚焦装置内设有间隔排布的若干聚焦结构，聚焦装置表面对应于聚焦结构设有若干通电柱，聚焦结构电连接于通电柱，以使聚焦结构通电对离子束产生作用力；靶台上设有容置部，容置部对准聚焦装置。本实用新型技术方案能够灵活地根据离子束的散射程度来调节聚焦，更好地抑制了离子束的散射现象，对离子束聚焦程度的控制更加精准。
本实用新型一种精准控制束流聚焦的离子源注入机在权利要求书中公布了：1.一种精准控制束流聚焦的离子源注入机，其特征在于，包括离子束流系统1，所述离子束流系统1包括依次连接的气体箱2、离子源3、质量分析器4、加速管5及聚焦装置6，所述气体箱2与所述离子源3产生离子束，经所述质量分析器4筛选出杂质离子后由所述加速管5加速射入所述聚焦装置6，所述聚焦装置6内设有间隔排布的若干聚焦结构61，所述聚焦装置6表面对应于所述聚焦结构61设有若干通电柱62，所述聚焦结构61电连接于所述通电柱62，以使所述聚焦结构61通电对离子束产生作用力； 靶台7，所述靶台7上设有容置部71，所述容置部71对准所述聚焦装置6。
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