无锡诚承电子科技有限公司方明江获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡诚承电子科技有限公司申请的专利一种高效率多能量层离子源注入机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223123863U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421560208.4，技术领域涉及：H01J37/20；该实用新型一种高效率多能量层离子源注入机是由方明江;蔡成振设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效率多能量层离子源注入机在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种高效率多能量层离子源注入机，包括离子束流系统及靶台，离子束流系统包括依次连接的气体箱、离子源、质量分析器及加速管，气体箱与离子源产生离子束，经质量分析器筛选出杂质离子后由加速管加速射出；靶台上设有容置部，容置部对准加速管出口，容置部边缘周向设置有多个锁紧件，靶台内部开设有调节空间，调节空间插设有调节杆，转动调节杆可压迫锁紧件移动使其松开锁紧。本实用新型技术方案能够加快晶圆更换速率，减少设备等待时间，提高生产效率。
本实用新型一种高效率多能量层离子源注入机在权利要求书中公布了：1.一种高效率多能量层离子源注入机，其特征在于，包括 离子束流系统1，所述离子束流系统1包括依次连接的气体箱11、离子源12、质量分析器13及加速管14，所述气体箱11与所述离子源12产生离子束，经所述质量分析器13筛选出杂质离子后由所述加速管14加速射出； 靶台2，所述靶台2上设有容置部21，所述容置部21对准所述加速管14出口，所述容置部21边缘周向设置有多个锁紧件3，所述靶台2内部开设有调节空间24，所述调节空间24插设有调节杆4，转动所述调节杆4可压迫所述锁紧件3移动使其松开锁紧。
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