福建金石能源有限公司黄宏波获国家专利权
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龙图腾网获悉福建金石能源有限公司申请的专利一种用于PECVD载板的简易金属丝压紧结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223118553U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421581528.8,技术领域涉及:C23C16/50;该实用新型一种用于PECVD载板的简易金属丝压紧结构是由黄宏波;张明进;刘义军;张振波设计研发完成,并于2024-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于PECVD载板的简易金属丝压紧结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于PECVD载板的简易金属丝压紧结构,包括载板、金属丝、金属丝的压紧结构及固定结构,所述金属丝两端分别通过压紧结构及固定结构固定在载板边框上,所述压紧结构包括压紧套管、限位套筒和压紧支撑梁,所述金属丝穿入压紧套管,并夹紧,压紧套管安装入限位套筒内,限位套筒卡装于压紧支撑梁内,所述压紧支撑梁固定安装在载板边框上,所述固定结构包括固定套管、锁紧压块、螺钉组件和固定支撑梁,所述金属丝穿入固定套管,固定套管安装于锁紧压块的通孔中,锁紧压块的螺纹孔中锁入螺钉组件,所述固定支撑梁固定在载板边框上。本实用安装更加便捷、成本更低,提高载板在PECVD腔室里传送过程中运行可靠性。
本实用新型一种用于PECVD载板的简易金属丝压紧结构在权利要求书中公布了:1.一种用于PECVD载板的简易金属丝压紧结构,包括载板1、金属丝2、金属丝的压紧结构3及固定结构4,其特征在于:所述金属丝2两端分别通过压紧结构3及固定结构4固定在载板1边框上,所述压紧结构3包括压紧套管31、限位套筒32和压紧支撑梁33,所述金属丝2穿入压紧套管31,并夹紧,压紧套管31安装入限位套筒32内,限位套筒32卡装于压紧支撑梁33内,所述压紧支撑梁33固定安装在载板1边框上,所述固定结构4包括固定套管41、锁紧压块42、螺钉组件43和固定支撑梁44,所述金属丝2穿入固定套管41,固定套管41安装于锁紧压块42的通孔中,锁紧压块42的螺纹孔中锁入螺钉组件43,所述固定支撑梁44固定在载板1边框上。
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