力美特真空技术(北京)有限公司杨凤杰获国家专利权
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龙图腾网获悉力美特真空技术(北京)有限公司申请的专利一种新型真空倒视窗获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223118335U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421652659.0,技术领域涉及:C03C27/00;该实用新型一种新型真空倒视窗是由杨凤杰设计研发完成,并于2024-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型真空倒视窗在说明书摘要公布了:本实用涉及半导体领域,且公开了一种新型真空倒视窗,其包括法兰,法兰上在远离其中心的位置贯穿开设有多个呈环形阵列分布的连接孔,这些连接孔用以配合连接机构将整个装置与安装位置固定,法兰的顶端中间构造形成一体式的且在纵向的不锈钢筒,不锈钢筒的内侧焊接有石英管,石英管的顶端低温键合有不超出不锈钢筒顶端的石英片。本实用对石英管和石英片之间的连接采用低温键合的方式代替目前的真空焊接,基本不改变石英片的光学性能,保证光学参数不受影响,即使是有变化,还可以对石英片再进行精加工,保证光学性能不变。
本实用新型一种新型真空倒视窗在权利要求书中公布了:1.一种新型真空倒视窗,包括法兰(1),法兰(1)上在远离其中心的位置贯穿开设有多个呈环形阵列分布的连接孔(2),这些连接孔(2)用以配合连接机构将整个装置与安装位置固定,其特征在于,法兰(1)的顶端中间构造形成一体式的且在纵向的不锈钢筒(3),不锈钢筒(3)的内侧焊接有石英管(4),石英管(4)的顶端低温键合有不超出不锈钢筒(3)顶端的石英片(5); 对石英管(4)和石英片(5)进行的表面处理包括但不限于氧化、光刻、蚀刻和抛光; 连接机构包括多个数量与连接孔(2)数量相同的组合螺栓,组合螺栓包括螺栓和螺母,螺栓从法兰(1)底端穿过连接孔(2)后在其法兰(1)顶端连接螺母; 螺栓由头部和杆体组成,该杆体的外周侧可套接一个金属的或弹性的垫环,垫环位于螺母和法兰(1)的顶端之间。
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