友威科技股份有限公司李原吉获国家专利权
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龙图腾网获悉友威科技股份有限公司申请的专利轨道移动式电浆平坦化加工系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223123886U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421711550.X，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型轨道移动式电浆平坦化加工系统是由李原吉;刘品均;刘忠炯;林岱蔚;魏木元设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本轨道移动式电浆平坦化加工系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种轨道移动式电浆平坦化加工系统，其包含制程腔体、承载装置、侦测装置及电浆处理装置。制程腔体设置有侦测区及电浆处理区；承载装置设有承载平台及第一轨道，承载平台用以放置待制程物体，第一轨道用以让承载平台往复移动于侦测区及电浆处理区；侦测装置设于侦测区，侦测装置侦测并输出待制程物体于承载平台的位置信息，以及对应待处理表面的表面平坦度信息；电浆处理装置设于电浆处理区，电浆处理装置根据位置信息及表面平坦度信息对待处理表面进行电浆平坦化处理。借此，本申请能够解决旧有平坦化制程精度不高的问题。
本实用新型轨道移动式电浆平坦化加工系统在权利要求书中公布了：1.一种轨道移动式电浆平坦化加工系统，其特征在于，该轨道移动式电浆平坦化加工系统用以对待制程物体的待处理表面进行平坦化处理，所述轨道移动式电浆平坦化加工系统包括： 制程腔体，所述制程腔体设置有侦测区及设于所述侦测区一侧的电浆处理区； 承载装置，所述承载装置设有承载平台及第一轨道，所述承载平台用以放置所述待制程物体，所述第一轨道用以让所述承载平台沿一输送方向往复移动于所述侦测区及所述电浆处理区； 侦测装置，所述侦测装置设于所述侦测区并耦接所述承载装置，所述侦测装置侦测并输出所述待制程物体于所述承载平台的位置信息，以及侦测并输出所述待处理表面的表面平坦度信息；以及 电浆处理装置，所述电浆处理装置设于所述电浆处理区并耦接所述侦测装置，所述电浆处理装置根据所述位置信息及所述表面平坦度信息对所述待处理表面进行平坦化处理。
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