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龙图腾网获悉深圳平湖实验室申请的专利一种半导体材料测试系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223122868U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421750841.X，技术领域涉及：G01N21/64；该实用新型一种半导体材料测试系统是由张道华;崔新春;万玉喜;胡浩林;黄国华;曾威设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体材料测试系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体材料测试技术领域，公开了一种半导体材料测试系统，包括真空样品室、第一紫外物镜、激发和收集模组、耦合光路模组以及荧光处理模组。真空样品室内设有用于放置测试样品的冷热台，冷热台设有温度控制组件，用于调节冷热台的温度。第一紫外物镜正对于冷热台。激发和收集模组包括激光器和长波通滤光片，耦合光路模组包括位于长波通滤光片与第一紫外物镜之间的第一反射镜。激光器用于发射激光，激光通过第一紫外物镜聚焦形成光斑，照射于测试样品。测试样品表面激发的荧光收集于荧光处理模组，荧光处理模组用于对荧光进行处理。上述半导体材料测试系统，可用于对超宽带隙半导体材料在不同温度以及高温环境下进行测试。

本实用新型一种半导体材料测试系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体材料测试系统，其特征在于，包括真空样品室、第一紫外物镜、激发和收集模组、耦合光路模组以及荧光处理模组； 所述真空样品室内设有用于放置测试样品的冷热台，所述冷热台设有温度控制组件，所述温度控制组件用于调节所述冷热台的温度； 所述第一紫外物镜位于所述真空样品室外，并正对于所述冷热台用于放置所述测试样品的表面； 所述激发和收集模组包括激光器和长波通滤光片，所述耦合光路模组包括位于所述长波通滤光片与所述第一紫外物镜之间的至少一个第一反射镜； 所述激光器用于发射激光，所述激光器发射的激光依次经由所述长波通滤光片和所述至少一个第一反射镜的反射后通过所述第一紫外物镜聚焦以形成光斑，所述第一紫外物镜用于将所述光斑照射于所述测试样品； 所述测试样品表面激发的荧光依次经由所述第一紫外物镜、所述至少一个第一反射镜以及所述长波通滤光片后收集于所述荧光处理模组，所述荧光处理模组用于对通过所述长波通滤光片的荧光进行处理。

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