苏州领瑞源智能科技有限公司沈皓然获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州领瑞源智能科技有限公司申请的专利一种硅片翻转机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223123882U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421803475.X,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种硅片翻转机构是由沈皓然;张海龙设计研发完成,并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片翻转机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种硅片翻转机构,用于将硅片送料线上的硅片翻转并置于若干反应池中镀镍,包括若干真空吸料盘;若干所述真空吸料盘对称设置在反应池两侧,且与反应池上的反应槽位置相对应,每个所述真空吸料盘均与一翻转组件可拆卸连接,所述翻转组件包括驱动件,所述驱动件的驱动端转动时,能使所述真空吸料盘朝向靠近或远离反应池的方向翻转。本实用新型能快速翻转硅片并将其置于反应池中镀镍,提高硅片加工效率,结构简便,便于维护。
本实用新型一种硅片翻转机构在权利要求书中公布了:1.一种硅片翻转机构,用于将硅片送料线上的硅片翻转并置于若干个反应池中镀镍,其特征在于:包括若干真空吸料盘,若干所述真空吸料盘对称设置在反应池两侧,且与反应池上的反应槽位置相对应,每个所述真空吸料盘均与一翻转组件可拆卸连接,所述翻转组件包括驱动件,所述驱动件的驱动端转动时,能使所述真空吸料盘朝向靠近或远离反应池的方向翻转。
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