上海华力集成电路制造有限公司程鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利一种防尘装置及晶圆检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223113781U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421829688.X，技术领域涉及：B08B15/00；该实用新型一种防尘装置及晶圆检测设备是由程鹏设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防尘装置及晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种防尘装置及晶圆检测设备，包括防尘板和支撑件，所述支撑件与所述防尘板连接，所述支撑件用于与晶圆检测设备的本体连接，所述防尘板用于设置在晶圆检测设备的晶圆承载台的上方；所述防尘板开设有第一豁口，所述第一豁口用于穿过晶圆检测设备的检测模组，所述第一豁口的内轮廓与晶圆检测设备的检测模组的外轮廓相适配。本实用新型能够防止晶圆检测设备上的灰尘掉落到晶圆上，避免产品受到污染。
本实用新型一种防尘装置及晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种防尘装置，其特征在于，包括防尘板和支撑件，所述支撑件与所述防尘板连接，所述支撑件用于与晶圆检测设备的本体连接，所述防尘板用于设置在晶圆检测设备的晶圆承载台的上方； 所述防尘板开设有第一豁口，所述第一豁口用于穿过晶圆检测设备的检测模组，所述第一豁口的内轮廓与晶圆检测设备的检测模组的外轮廓相适配。
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