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龙图腾网获悉江苏爱矽半导体科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆片承托装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118983260B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411039243.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种半导体晶圆片承托装置是由彭劲松;张巍;郭天宇;刘志坤设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆片承托装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种半导体晶圆片承托装置，属于半导体加工技术领域，包括清洗箱，所述清洗箱连接有排水管、电机、进水管和密封挡板，所述清洗箱的内部设有过滤板和引流板，还包括：压紧组件，所述压紧组件通过自身移动完成晶圆的固定；承托组件，所述承托组件利用压紧组件的辅助进一步提高对晶圆的防护定位。该发明有益效果：通过承托组件和压紧组件的相互作用配合可完成对晶圆片整体固定，同时在清洗的过程中可实现晶圆片自身的轻微抖动，从而提高直接清洗的面积，增加效果的同时保证对晶圆片表面所附着的杂质的清除，并且随着清洗结束后通过离心力的作用可快速完成晶圆片表面水分的去除，从而有效避免水痕的产生，提高生产质量。

本发明授权一种半导体晶圆片承托装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆片承托装置，包括清洗箱（1），所述清洗箱（1）连接有排水管（2）、电机（3）、进水管（4）和密封挡板（5），所述清洗箱（1）的内部设有过滤板（8）和引流板（9），其特征在于，还包括： 压紧组件（6），所述压紧组件（6）位于清洗箱（1）的内部，所述压紧组件（6）通过自身移动完成晶圆的固定； 承托组件（7），所述承托组件（7）位于清洗箱（1）的内部，所述承托组件（7）利用压紧组件（6）的辅助进一步提高对晶圆的防护定位； 所述压紧组件（6）包括压紧架（61），所述压紧架（61）的内侧壁固定连接有固定板（63），所述固定板（63）呈“Ω”形设置，所述压紧架（61）固定连接有防护片（67），所述防护片（67）位于固定板（63）的一侧，所述压紧架（61）的两端滑动连接有活动杆（65），所述活动杆（65）的外壁上固定连接有移动板（64），所述移动板（64）呈弧形设置； 所述压紧组件（6）还包括凸块（62）和复位弹簧（66），所述凸块（62）呈半球形设置，所述凸块（62）与活动杆（65）的一端固定连接，所述复位弹簧（66）套接在活动杆（65）的一端外壁上，所述复位弹簧（66）的两端分别与凸块（62）的侧壁以及压紧架（61）的侧壁固定连接； 所述承托组件（7）包括承托板（76），所述承托板（76）的内侧壁开设有若干个均匀分布的放置槽（77），所述承托板（76）的内侧设有若干组均匀分布的气囊伸缩管（78）和连接管（781），所述连接管（781）的两端分别与气囊伸缩管（78）的外壁以及承托板（76）的内侧壁固定连接，每组所述气囊伸缩管（78）和连接管（781）均设有三个，每组所述气囊伸缩管（78）和连接管（781）位于相邻两个放置槽（77）的中间，所述放置槽（77）的内部设有晶圆片（11）； 所述承托板（76）呈弧形设置，所述承托板（76）的两侧固定连接有扩充框（74），所述扩充框（74）的内部固定连接有气囊垫（73），所述承托板（76）的外壁开设有流水槽孔（75），所述流水槽孔（75）与放置槽（77）相连通，所述放置槽（77）的内壁固定连接有防护条（79）； 所述承托板（76）的两侧开设有与若干组气囊伸缩管（78）和连接管（781）相对应的通气槽孔（761），所述承托板（76）的内部开设有分流腔（762），所述分流腔（762）与通气槽孔（761）的一端相连通，所述通气槽孔（761）的另一端与气囊垫（73）相连通，所述分流腔（762）的内壁开设有对接孔（782），所述对接孔（782）与连接管（781）的下端相连接； 所述承托组件（7）还包括转动板（71）和电动伸缩杆（72），所述电动伸缩杆（72）的一端与转动板（71）的侧壁固定连接，所述电动伸缩杆（72）的另一端与压紧架（61）固定连接，所述转动板（71）设有两个，两个所述转动板（71）分别与承托板（76）的两端固定连接，所述转动板（71）的侧壁固定连接有转动柱（10），其中一个所述转动柱（10）的一端贯穿清洗箱（1）的侧壁与电机（3）固定连接，另一个所述转动柱（10）的外壁上转动连接有固定筒（7103），其中一个所述转动板（71）的侧壁开设有凹槽（7102），所述凹槽（7102）的内壁固定连接有三个圆周阵列分布的挤压条（7101）； 所述固定筒（7103）的外壁与清洗箱（1）远离电机（3）的一端侧壁固定连接，所述固定筒（7103）的外壁固定连接有中空立柱（7104），所述中空立柱（7104）的内部设有伸缩板（7105）和伸缩弹簧（7106），所述伸缩弹簧（7106）的两端分别与中空立柱（7104）内壁以及伸缩板（7105）的一端侧壁固定连接，所述伸缩板（7105）的另一端拐角处开设有倒角，所述伸缩板（7105）与中空立柱（7104）的内壁滑动连接。

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