苏州芯合半导体材料有限公司洪从叶获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯合半导体材料有限公司申请的专利一种热稳定性氧化铝陶瓷及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118771861B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411036627.2,技术领域涉及:C04B35/10;该发明授权一种热稳定性氧化铝陶瓷及其制备方法是由洪从叶;庞吉宏设计研发完成,并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种热稳定性氧化铝陶瓷及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种热稳定性氧化铝陶瓷及其制备方法,该热稳定性氧化铝陶瓷通过先将氧化铝粉末、Cr2O3和助剂混合均匀,再进行压坯、脱胶、烧结、离子注入、退火处理得到。本发明通过三次球磨搅拌利于改善氧化铝粉末的流动性,使压坯形成的素坯内部一致性较好;通过脱胶去除有机物,避免后期烧结质量降低;通过调控陶瓷素坯烧结温度及Cr2O3的用量能够降低氧化铝陶瓷的热膨胀系数;通过引入元素Mg并进行高温处理,使原有的高纯氧化铝的刚玉相变为镁铝尖晶石相,镁铝尖晶石相相较于刚玉相有较多供原子移动的空间,从而在反复的热处理中,受热振动的原子带来的位移会被孔隙吸收,使氧化铝陶瓷具有较好的热震稳定性,热膨胀系数进一步降低。
本发明授权一种热稳定性氧化铝陶瓷及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种热稳定性氧化铝陶瓷的制备方法,其特征在于,所述热稳定性氧化铝陶瓷通过先将氧化铝粉末、Cr2O3和助剂混合均匀,再进行压坯、脱胶、烧结、离子注入、退火处理得到; 所述热稳定性氧化铝陶瓷的热膨胀系数为4.7-5.5μmm•℃; 所述氧化铝粉末和Cr2O3的重量份数分别为40-100份、1-30份; 所述助剂包括以下重量份数的各组分: 分散剂3-5份 消泡剂0.002-0.003份 粘结剂1-3份 润滑剂0.2-2份; 所述氧化铝粉末采用α相高纯氧化铝粉末,α相高纯氧化铝粉末的粒径为1-2μm; 所述制备方法包括以下步骤: 1)按重量份数计,将氧化铝粉末40-100份、Cr2O31-30份、分散剂3-5份、消泡剂0.002-0.003份加入球磨机中,球磨混合均匀; 2)向球磨机中继续加入粘结剂1-3份,球磨混合均匀; 3)向球磨机中继续加入润滑剂0.2-2份,球磨混合均匀,此时的浆料粒径D50为300-400nm;随后造粒; 4)压坯: 压样压力为1.5-2.0T,保压时间为3s及以上; 5)脱胶; 6)陶瓷素坯烧结; 7)离子注入; 8)退火; 步骤7)中,离子注入的步骤为: 离子注入的靶材为高纯氧化镁; 先将反应室抽真空,真空度不大于10bar;随后采用合适的Mg离子注入的剂量和能量进行离子注入,Mg离子注入剂量为8×1014-10×1014cm-2,注入能量为150-350keV,Mg离子注入时间为5-15min; 通过三次球磨搅拌有利于改善氧化铝粉末的流动性,使压坯时形成的素坯内部一致性较好;通过脱胶,便于去除在造粒阶段混入的助剂,避免后期烧结质量降低;通过调控陶瓷素坯烧结温度以及Cr2O3的用量能够降低氧化铝陶瓷的热膨胀系数;通过引入元素Mg,并进行高温处理,使原有的高纯氧化铝的刚玉相变为镁铝尖晶石相,刚玉相为六方密堆积,而镁铝尖晶石相相较于刚玉相有较多供原子移动的空间,从而在反复的热处理中,受热振动的原子带来的位移会被孔隙吸收,使氧化铝陶瓷具有较好的热震稳定性,热膨胀系数进一步降低,烧结质量和效率进一步提高。
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