深圳市元泰丰光电有限公司石清泉获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市元泰丰光电有限公司申请的专利一种高均匀性可调式UVled光刻光源组获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223123364U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421909716.9，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种高均匀性可调式UVled光刻光源组是由石清泉;黄平龙设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高均匀性可调式UVled光刻光源组在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光学技术领域，公开了一种高均匀性可调式UVled光刻光源组，包括支架，所述支架的上方设置有工作台，所述支架的内部固定连接有曲面镜，所述支架的上表面固定连接有固定座，所述固定座的内部转动连接有角度调节安装座，所述角度调节安装座的内部开设有安装孔，所述角度调节安装座的外壁固定连接有外观封板，所述外观封板的外壁固定连接有底板。本实用新型中，将角度调节安装座固定在固定座的内部，将安装孔对准底板内部的孔进行安装，便于UVled灯角度调节，将航插与电源连接，通过水冷板对灯板进行循环降温，通过发光源发出光源并调节UVled灯的角度，将光源照射到曲面镜上，通过曲面镜照射到工作台上，实现放大光线的作用。
本实用新型一种高均匀性可调式UVled光刻光源组在权利要求书中公布了：1.一种高均匀性可调式UVled光刻光源组，包括支架1，其特征在于：所述支架1的上方设置有工作台2，所述支架1的内部固定连接有曲面镜3，所述支架1的上表面固定连接有固定座5，所述固定座5的内部转动连接有角度调节安装座9，所述角度调节安装座9的内部开设有安装孔4，所述角度调节安装座9的外壁固定连接有外观封板10，所述外观封板10的外壁固定连接有底板6，所述底板6的外壁固定连接有航插7，所述底板6的外壁固定连接有水冷板8，所述水冷板8的外壁设置有光源组件，所述光源组件用于提供光源。
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