广州诺顶智能科技有限公司邹巍获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉广州诺顶智能科技有限公司申请的专利一种扩膜装置以及晶圆扩膜机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119008469B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411106153.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种扩膜装置以及晶圆扩膜机是由邹巍;唐香;杨子修设计研发完成，并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扩膜装置以及晶圆扩膜机在说明书摘要公布了：一种扩膜装置，包括上侧面突设有圆柱型凸部的底座、放置在凸部上的扩膜盘、位于扩膜盘上方并能够压向扩膜盘的压膜盘以及旋转单元，旋转单元包括连接套、旋转电机、导轮和传动带；扩膜盘设置在连接套内并随之转动；连接套套设在凸部外侧；旋转电机安装在底座上；导轮套设在旋转电机的输出轴上，传动带环绕在连接套外侧并与导轮相接，旋转电机转动时，能够通过传动带带动连接套转动。此外本发明还提供了一种使用上述扩膜装置的晶圆扩膜机。与现有技术相比较，本发明的扩膜装置和晶圆扩膜机能够提高生产不同尺寸晶圆盘的切换效率。
本发明授权一种扩膜装置以及晶圆扩膜机在权利要求书中公布了：1.一种扩膜装置，其特征在于,包括： 底座，所述底座的上侧面突设有圆柱型的凸部； 扩膜盘，放置在所述凸部上方； 压膜盘，位于所述扩膜盘上方，并能够压向所述扩膜盘，所述压膜盘上设有向所述扩膜盘方向延伸的两定位销，所述两定位销用于插设到外晶盘的定位槽内； 旋转单元,包括连接套、旋转轴承、旋转电机、导轮和传动带；所述扩膜盘设置在所述连接套内，并随之转动；所述连接套内壁突设有承接部，所述扩膜盘外壁突设有连接块，所述扩膜盘位于所述连接套内，且位于所述凸部上方，所述连接块的下侧面与所述承接部的上侧面相接，所述扩膜盘通过磁力固定在所述连接套内，使得所述扩膜盘随所述连接套转动；所述连接套套设在所述凸部外侧，所述旋转轴承位于所述连接套与所述凸部之间；所述旋转电机安装在所述底座上；所述导轮套设在所述旋转电机的输出轴上，所述传动带环绕在所述连接套外侧并与所述导轮相接，所述旋转电机转动时，能够通过所述传动带带动所述连接套转动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广州诺顶智能科技有限公司，其通讯地址为：510000 广东省广州市番禺区石楼镇珠江路79号A幢自编201；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号