拓荆科技(上海)有限公司张启辉获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利晶圆支撑装置及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223118548U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421991551.4，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型晶圆支撑装置及薄膜沉积设备是由张启辉;吴凤丽;杨华龙;赵坤;高鹏飞;朱晓亮;杨天奇;卜夺夺设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆支撑装置及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆支撑装置及薄膜沉积设备，该晶圆支撑装置包括：加重件，其上设有至少三个安装孔；至少三个支撑件，所述支撑件的数量与所述安装孔的数量相匹配，所述支撑件的底端可拆卸地固设于所述安装孔，所述支撑件的顶端用于支撑晶圆。本实用新型所有的支撑件均共用一个加重件，相对于现有的每个PIN独立配置重锤，其重量可以设计地更重，加重件的质量远大于重锤的质量，能够克服更大地摩擦力，保证支撑件相对加热盘运动顺畅，极大地降低卡PIN的概率，避免晶圆碎片、滑片，从而提高薄膜沉积的质量；而且可以更晚地更换支撑件，延长维护周期，提高生产效率。
本实用新型晶圆支撑装置及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆支撑装置，其特征在于，包括： 加重件，其上设有至少三个安装孔，所述加重件为圆盘，所述安装孔沿所述圆盘的圆周方向均匀分布； 至少三个支撑件，所述支撑件的数量与所述安装孔的数量相匹配，所述支撑件的底端可拆卸地固设于所述安装孔，所述支撑件的顶端用于支撑晶圆，所述支撑件沿其轴向具有至少一第一支撑段和至少一第二支撑段，所述第一支撑段与所述第二支撑段的直径不同。
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