苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司周剑获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司申请的专利一种载板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223118549U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422013901.6，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种载板是由周剑;陈晨;孙健;刘亚南;杨艳红;彭璐璐设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种载板在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种载板，涉及薄膜沉积设备技术领域。本实用新型的载板包括托盘和框架，所述框架包括导轨条，所述导轨条包括一体式导轨条和分体式导轨条，其中，一体式导轨条包括底面、外侧面和内侧面。分体式导轨条可以包括多个并排设置在一体式导轨条外的导轨单元，每一导轨单元包括与一体式导轨条的底面抵接的第一侧面。本实用新型的导轨条使得该导轨条设置在传动机构处时导轨单元与传动机构相互接触，提升了导轨条的耐磨性，避免了磨损形成的缺陷进一步增加振动，进而保证了载板整体的平面度和生命周期，提升薄膜沉积的均匀性。
本实用新型一种载板在权利要求书中公布了：1.一种载板，其特征在于，所述载板包括框架和托盘，所述托盘固设在所述框架上，所述框架包括导轨条，所述导轨条包括： 一体式导轨条，包括底面、外侧面和内侧面；和 分体式导轨条，所述分体式导轨条包括多个并排设置在所述一体式导轨条外的导轨单元，每一所述导轨单元包括与所述一体式导轨条的所述底面抵接的第一侧面。
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