江阴佳泰电子科技有限公司薛昌和获国家专利权
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龙图腾网获悉江阴佳泰电子科技有限公司申请的专利一种晶圆级可靠性测试装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223123166U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422145429.1,技术领域涉及:G01R31/26;该实用新型一种晶圆级可靠性测试装置是由薛昌和设计研发完成,并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆级可靠性测试装置在说明书摘要公布了:本申请涉及晶圆测试技术领域,尤其是涉及一种晶圆级可靠性测试装置,包括操作台、晶圆片、柔性绝缘板、探针安装座和电路板,操作台上表面开设有放置槽,放置槽内壁两侧开设有顶端设为开口的滑槽,放置槽底壁开设有容纳槽,容纳槽内设置有放置台,本申请通过放置槽、滑槽和激光发射器等结构间的配合设置,使用时,使晶圆片上的晶粒与激光发射器的摄线平行,通过滑块和滑槽依次将柔性绝缘板、探针安装座和电路板放入放置槽中,对其进行定位,使电路板下的探针穿过孔洞与晶粒接触,对晶圆片进行测试,尽量避免了在安装时难以确保对齐,可能会出现部分探针无法与晶粒进行接触,导致降低了测试准确性的问题。
本实用新型一种晶圆级可靠性测试装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆级可靠性测试装置,包括操作台(1)、晶圆片(2)、柔性绝缘板(5)、探针安装座(4)和电路板(3),其特征在于:所述操作台(1)上表面开设有放置槽(6),所述放置槽(6)内壁两侧开设有顶端设为开口的滑槽(7),所述放置槽(6)底壁开设有容纳槽(8),所述容纳槽(8)内设置有放置台(9),其中一个所述滑槽(7)内设有激光发射器(10),所述激光发射器(10)发射端与另一个所述滑槽(7)相对设置,所述电路板(3)、所述探针安装座(4)和所述柔性绝缘板(5)侧壁两端均固定连接有滑块(11),所述滑块(11)分别滑动设置于所述滑槽(7)中。
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