南通尚阳通集成电路有限公司张洋湖获国家专利权
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龙图腾网获悉南通尚阳通集成电路有限公司申请的专利一种半导体器件平面研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223114776U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422165205.7,技术领域涉及:B24B7/22;该实用新型一种半导体器件平面研磨装置是由张洋湖;汤巧云;秦依杰;李旸设计研发完成,并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体器件平面研磨装置在说明书摘要公布了:本申请实施例涉及半导体加工技术领域,公开了一种半导体器件平面研磨装置。该半导体器件平面研磨装置包括主板、多个调节杆以及辅助板。主板为可手持的承载板;多个调节杆均从主板的正面贯穿主板,调节杆一端为调节端,另一端为连接端,调节杆分布在主板的不同位置;连接端均设置在辅助板的一侧,通过调节杆的调节,使辅助板相对主板具有不同的角度,在手持主板时便于辅助板上固定的样品在调整好的角度下研磨。本申请实施例提供的半导体器件平面研磨装置,能够节省成本、提高半导体器件平面研磨效率,保证研磨的平整度。
本实用新型一种半导体器件平面研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体器件平面研磨装置,其特征在于,包括: 主板,为可手持的承载板; 多个调节杆,均从所述主板的正面贯穿所述主板,所述调节杆一端为调节端,另一端为连接端,所述调节杆分布在所述主板的不同位置; 辅助板,所述连接端均设置在所述辅助板的一侧,通过所述调节杆的调节,使所述辅助板相对所述主板具有不同的角度,在手持所述主板时便于所述辅助板上固定的样品在调整好的角度下研磨。
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