深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司王康获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利多频输出光源装置、曝光设备和光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223124386U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422193918.4，技术领域涉及：H01S5/40；该实用新型多频输出光源装置、曝光设备和光刻设备是由王康设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本多频输出光源装置、曝光设备和光刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种多频输出光源装置、曝光设备和光刻设备。该装置包括激光光源、分路器、多个非线性光学晶体以及多个光滤波器，分路器具有多条输出光路，各输出光路上依次设置有非线性光学晶体和光滤波器；激光光源用于输出频率在预设频率范围内的第一激光信号；分路器用于将第一激光信号分路为多个第二激光信号，各第二激光信号与各输出光路一一对应；非线性光学晶体用于对第二激光信号进行频率转换，得到第三激光信号，其中，各非线性光学晶体对应不同频率的第三激光信号；光滤波器用于对第三激光信号进行滤波得到第四激光信号，第四激光信号的波长分别位于不同的预设波长范围内。该装置结构简单，降低了研发和使用成本，且便于维修。
本实用新型多频输出光源装置、曝光设备和光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种多频输出光源装置，其特征在于，所述多频输出光源装置包括激光光源、分路器、多个非线性光学晶体以及多个光滤波器，所述分路器具有多条输出光路，各输出光路上依次设置有所述非线性光学晶体和所述光滤波器； 所述激光光源，用于输出频率在预设频率范围内的第一激光信号； 所述分路器与所述激光光源连接，用于将所述第一激光信号分路为多个第二激光信号，各所述第二激光信号与各所述输出光路一一对应； 所述非线性光学晶体，用于对所述第二激光信号进行频率转换，得到第三激光信号，其中，各所述非线性光学晶体对应不同频率的第三激光信号； 所述光滤波器，用于对所述第三激光信号进行滤波，得到第四激光信号，每个所述光滤波器输出的所述第四激光信号的波长分别位于不同的预设波长范围内。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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