北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司李亚伟获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种晶圆探测器结构和晶圆侦测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223123248U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422212850.X，技术领域涉及：G01V8/10；该实用新型一种晶圆探测器结构和晶圆侦测装置是由李亚伟;颜铭铭;贾永鑫;邢长昕设计研发完成，并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆探测器结构和晶圆侦测装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆探测器结构和晶圆侦测装置，用于晶圆位置探测。晶圆探测器结构包括相对位置固定的第一探测臂和第二探测臂；第一探测臂端部设置第一探测单元，第二探测臂端部设置第二探测单元。在垂直于晶圆表面方向上，第一探测单元与第二探测单元相隔第一间距；在平行于晶圆表面方向上，第一探测单元与第二探测单元相隔第二间距。晶圆侦测装置包括控制器、移动装置和上述晶圆探测器结构。本申请能够及时发现位置突出的假片并在碰撞前停止晶圆扫描进程，避免因撞碎假片引起的损坏设备、影响产品片品质的问题。
本实用新型一种晶圆探测器结构和晶圆侦测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆探测器结构，用于晶圆位置探测，其特征在于，包括相对位置固定的第一探测臂和第二探测臂，所述第一探测臂端部设置第一探测单元，所述第二探测臂端部设置第二探测单元；在垂直于所述晶圆表面方向上，所述第一探测单元与所述第二探测单元相隔第一间距；在平行于所述晶圆表面方向上，所述第一探测单元与所述第二探测单元相隔第二间距，所述第一探测单元至所述晶圆的距离小于所述第二探测单元至所述晶圆的距离。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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