上海衍梓智能科技有限公司郑国获国家专利权
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龙图腾网获悉上海衍梓智能科技有限公司申请的专利一种半导体承载体旋转异常检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223122488U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422205860.0，技术领域涉及：G01M13/00；该实用新型一种半导体承载体旋转异常检测装置是由郑国;李培祥设计研发完成，并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体承载体旋转异常检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体承载体旋转异常检测装置。上述检测装置和半导体加工设备配合设置。半导体加工设备包括反应腔体、石英盘、半导体承载体、以及用于驱动半导体承载体的旋转机构。检测装置包括位于反应腔体内的磁力感应件、以及位于磁力感应件的上方且靠近磁力感应件设置的磁铁。磁力感应件固定安装在石英盘上，且磁力感应件为磁力开关、磁簧开关或霍尔接近开关，磁铁固定安装在半导体承载体上。旋转机构包括电机、承载体轴以及磁流体传动件，承载体轴和石英盘垂直活动贯穿设置，磁力感应件位于承载体轴的相对应一侧位置处。本实用新型利用磁力感应来侦测半导体承载体的旋转圈数和旋转速度，及时判别异常旋转的情况，易于实施。
本实用新型一种半导体承载体旋转异常检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体承载体旋转异常检测装置，其和半导体加工设备配合设置；半导体加工设备包括反应腔体（1）、用于封闭反应腔体（1）进出料口的石英盘（2）、位于反应腔体（1）内的半导体承载体、以及用于驱动半导体承载体的旋转机构； 其特征在于，所述检测装置包括： 位于所述反应腔体（1）内的磁力感应件，其固定安装在石英盘（2）上；以及 磁铁（3），其位于磁力感应件的上方且靠近磁力感应件设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海衍梓智能科技有限公司，其通讯地址为：201821 上海市嘉定区嘉定工业区叶城路912号JT17121室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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