新疆鸿升照明科技有限公司黎葵获国家专利权
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龙图腾网获悉新疆鸿升照明科技有限公司申请的专利一种晶圆减薄打磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223114777U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422213048.2,技术领域涉及:B24B7/22;该实用新型一种晶圆减薄打磨装置是由黎葵;文新设计研发完成,并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆减薄打磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供的一种晶圆减薄打磨装置,包括机架、晶圆打磨装置,所述晶圆打磨装置包括打磨机构、摆动式晶圆支撑机构,所述打磨机构设于机架上,所述摆动式晶圆支撑机构与机架转动连接,并通过皮带轮机构与打磨机构连接;所述摆动式晶圆支撑机构包括晶圆摆动式机构、预紧力调整机构,所述晶圆摆动式机构与机架转动连接,并通过皮带轮机构与打磨机构连接,所述预紧力调整机构设于晶圆摆动式机构上,并压贴于打磨机构上端,通过预紧力调整机构,便于调整晶圆与打磨盘之间的挤压力,通过晶圆摆动式击鼓通过皮带轮机构与打磨机构连接,便于实现两者之间通过一个驱动电机进行驱动,实现节省资源。
本实用新型一种晶圆减薄打磨装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆减薄打磨装置,包括机架(1)、晶圆打磨装置(2),其特征在于:所述晶圆打磨装置(2)包括打磨机构(3)、摆动式晶圆支撑机构(4),所述打磨机构(3)设于机架(1)上,所述摆动式晶圆支撑机构(4)与机架(1)转动连接,并通过皮带轮机构(5)与打磨机构(3)连接; 所述摆动式晶圆支撑机构(4)包括晶圆摆动式机构(6)、预紧力调整机构(7),所述晶圆摆动式机构(6)与机架(1)转动连接,并通过皮带轮机构(5)与打磨机构(3)连接,所述预紧力调整机构(7)设于晶圆摆动式机构(6)上,并压贴于打磨机构(3)上端。
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