深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司陶杨获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利调试器具、调试系统、掩膜版承载装置及颗粒物检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223123363U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422248051.8,技术领域涉及:G03F1/84;该实用新型调试器具、调试系统、掩膜版承载装置及颗粒物检测设备是由陶杨;陈太波设计研发完成,并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本调试器具、调试系统、掩膜版承载装置及颗粒物检测设备在说明书摘要公布了:本申请公开一种调试器具、调试系统、掩膜版承载装置及颗粒物检测设备,所述调试器具用于调试掩膜版承载台上的反射式光电传感器,其中,所述掩膜版承载台用于承载掩膜版,所述反射式光电传感器用于识别所述掩膜版承载台上的所述掩膜版,所述调试器具包括:调试用的透明基板、以及把手;所述透明基板与所述掩膜版材质相同,用于在调试所述反射式光电传感器时放置于所述掩膜版承载台上或从所述掩膜版承载台上取下;所述把手连接所述透明基板的第一表面;其中,所述透明基板还具有与所述第一表面位置相对的第二表面,所述透明基板的第二表面用于抵接于所述掩膜版承载台上。
本实用新型调试器具、调试系统、掩膜版承载装置及颗粒物检测设备在权利要求书中公布了:1.一种调试器具,其特征在于,所述调试器具用于调试掩膜版承载台上的反射式光电传感器,其中,所述掩膜版承载台用于承载掩膜版,所述反射式光电传感器用于识别所述掩膜版承载台上的所述掩膜版,所述调试器具包括: 调试用的透明基板,与所述掩膜版材质相同,用于在调试所述反射式光电传感器时放置于所述掩膜版承载台上或从所述掩膜版承载台上取下; 把手,连接所述透明基板的第一表面;其中,所述透明基板还具有与所述第一表面位置相对的第二表面,所述透明基板的第二表面用于抵接于所述掩膜版承载台上。
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