常州亿晶光电科技有限公司狄云飞获国家专利权
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龙图腾网获悉常州亿晶光电科技有限公司申请的专利一种减少硅片湿花篮印记的湿法花篮获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223123879U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422257470.8，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种减少硅片湿花篮印记的湿法花篮是由狄云飞;张飞;徐明靖;孙铁囤设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种减少硅片湿花篮印记的湿法花篮在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种减少硅片湿花篮印记的湿法花篮，包括齿杆，齿杆上设置有多个间隔布置、并构型线性的篮齿，硅片插接于篮齿之间，篮齿接触硅片的端面上开设导流槽；导流槽贯穿端面的上下两侧。导流槽的设置，其内部会填充有反应液体，如此减小了硅片与篮齿的接触面积，增大了硅片与反应液体的接触面积，从而使得硅片在湿法工序时，反应更加均匀，不会形成花篮印；导流槽贯穿端面上下两侧的设置，使得液体在硅片与篮齿的连接处不会形成液体残留，从而避免硅片与篮齿的连接处出现缺陷。
本实用新型一种减少硅片湿花篮印记的湿法花篮在权利要求书中公布了：1.一种减少硅片湿花篮印记的湿法花篮，包括齿杆1，所述齿杆1上设置有多个间隔布置、并构型线性的篮齿2，硅片插接于所述篮齿2之间，其特征在于： 所述篮齿2接触硅片的端面3上开设导流槽4； 所述导流槽4贯穿端面3的上下两侧。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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