绍兴佳善微电子科技有限责任公司邱锁获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴佳善微电子科技有限责任公司申请的专利一种MEMS绝压压力传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223122390U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422271308.1，技术领域涉及：G01L9/04；该实用新型一种MEMS绝压压力传感器是由邱锁;刘统贝设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS绝压压力传感器在说明书摘要公布了：一种MEMS绝压压力传感器，包括衬底，还包括中间绝缘隔离层、通孔层、绝缘封装层、用于感应压力的传感器膜层以及用于连接传感器膜层的导电材料组件；所述衬底设有一凹槽；所述传感器膜层为凹槽的基底，并通过中间绝缘隔离层做支撑；所述传感器膜层连接于衬底与中间绝缘隔离层之间；所述传感器膜层设有压阻电阻，并且传感器膜层通过压阻电阻连接导电材料组件；所述中间绝缘隔离层与通孔层连接，通孔层与绝缘封装层连接；所述中间绝缘隔离层通过光刻刻蚀出传感器膜层的开口；所述通孔层上开设有与开口相通的真空腔；所述真空腔位于传感器膜层与通孔层之间。本实用新型一种MEMS绝压压力传感器测量范围更大、敏感度更高且耐腐蚀。
本实用新型一种MEMS绝压压力传感器在权利要求书中公布了：1.一种MEMS绝压压力传感器，包括衬底1，其特征在于：还包括中间绝缘隔离层2、通孔层7、绝缘封装层9、用于感应压力的传感器膜层3以及用于连接传感器膜层3的导电材料组件4；所述衬底1设有一凹槽5；所述传感器膜层3为凹槽5的基底，并通过中间绝缘隔离层2做支撑；所述传感器膜层3连接于衬底1与中间绝缘隔离层2之间；所述传感器膜层3设有压阻电阻6，并且传感器膜层3通过压阻电阻6连接导电材料组件4；所述中间绝缘隔离层2与通孔层7连接，通孔层7与绝缘封装层9连接；所述中间绝缘隔离层2通过光刻刻蚀出传感器膜层3的开口8；所述通孔层7上开设有与开口8相通的真空腔10；所述真空腔10位于传感器膜层3与通孔层7之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人绍兴佳善微电子科技有限责任公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市上虞区曹娥街道e游小镇门户客厅4号楼154号第2间办公室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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