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江苏满旺半导体科技股份有限公司刘伟获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏满旺半导体科技股份有限公司申请的专利一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119379241B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411311241.8,技术领域涉及:G06Q10/20;该发明授权一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法是由刘伟;汤小敏;付强设计研发完成,并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及监管数据传输管理技术领域,具体为一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法,包括:生产数据采集模块、时间过渡预测模块、生产用设备数据分析模块和监管数据传输管理模块,通过生产数据采集模块采集半导体历史生产信息和用于半导体生产的设备历史检查信息,通过时间过渡预测模块建立生产时间预测模型,预测当前生产阶段完成半导体生产工序需要花费的时间,通过生产用设备数据分析模块分析在当前生产阶段的下一个生产阶段开始前,参考生产监管终端中已存储的设备检查数据判断设备的运行状态后使用设备时设备故障的概率,通过监管数据传输管理模块进行设备重检和重检数据传输管理,降低了参考检查数据后使用设备的设备故障概率。

本发明授权一种基于物联网的半导体生产数据监管系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于物联网的半导体生产数据监管方法,其特征在于:包括以下步骤: Z1:采集半导体历史生产信息以及用于半导体生产的设备历史检查信息; Z2:针对不同的生产阶段,依据半导体历史生产信息建立生产时间预测模型,预测当前生产阶段完成当前数量半导体生产工序需要花费的时间; Z3:分析在当前生产阶段的下一个生产阶段开始前,参考生产监管终端中已存储的设备检查数据判断设备的运行状态后使用设备时设备故障的概率; Z4:依据概率分析结果进行设备重检和重检数据传输管理; 在步骤Z1中:采集到半导体以往每次生产时的历史生产数量集合为M={M1,M2,…,Mr},r表示半导体的历史生产次数,采集以往生产对应数量半导体时,每个生产阶段完成对应数量半导体生产工序花费的时间信息,采集每个生产阶段用于半导体生产的设备的检查信息,包括当前默认设置的设备检查周期、以往设置过的设备检查周期以及在对应检查周期下,因直接参考传输到生产监管终端的设备检查数据来判断设备是否能够正常运行,在得到判断结果后使用设备而导致设备在被用于半导体生产时出现故障的次数信息; 在步骤Z2中:获取到当前需要生产的半导体当前正处于第i个生产阶段,调取到以往生产集合M中对应数量半导体时,第i个生产阶段完成对应数量半导体生产工序花费的时间集合为t={t1,t2,…,tr},对数据点{(M1,t1),(M2,t2),…,(Mr,tr)}进行直线拟合,建立用于预测当前生产阶段完成半导体生产工序需要花费时间的生产时间预测模型:,其中,a和b表示生产时间预测模型的拟合系数,分别求解a和b: ; ; 其中,e=1,2,…,r,e表示第e次生产半导体,获取到当前需要生产的半导体数量为N,将N代入生产时间预测模型中:令X=N,预测得到当前生产阶段完成当前数量半导体生产工序需要花费的时间为; 在步骤Z3中:调取到以往设置过的被用于第i+1个生产阶段半导体生产的设备检查周期集合L={L1,L2,…,Ln},n表示对应设备的检查周期历史设置次数,调取到以往在不同的检查周期下,因直接参考传输到生产监管终端的对应设备检查数据来判断设备是否能够正常运行,在得到判断结果后使用设备而导致设备在被用于半导体生产时出现故障的次数集合为H={H1,H2,…,Hn},根据计算得到在设置检查周期为Lj时,因直接参考传输到生产监管终端的对应设备检查数据来判断设备是否能够正常运行,在得到判断结果后使用设备而导致设备在被用于半导体生产时出现故障的概率Pj,得到故障概率集合为P={P1,P2,…,Pj,…,Pn},对数据点{(H1,P1),(H2,P2),…,(Hn,Pn)}进行直线拟合,针对被用于第i+1个生产阶段半导体生产的设备建立故障概率预测模型:,其中,和表示故障概率预测模型的拟合系数,获取到当前需要生产的半导体的开始生产时间为A1,当前需要生产的半导体第i个生产阶段的开始时间为A2,当前默认设置的被用于第i+1个生产阶段半导体生产的设备检查周期为B1,得到在当前设置的对应设备检查周期下,在第i+1个生产阶段开始前参考到的对应设备检查数据的传输时间距第i+1个生产阶段开始时间的间隔时长为,其中,表示对做向下取整,令,预测得到当前情况下直接参考传输至生产监管终端的设备检查数据来判断对应设备是否能够正常运行,在得到判断结果后使用设备而导致对应设备被用于半导体生产时会出现故障的概率为p,。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏满旺半导体科技股份有限公司,其通讯地址为:213017 江苏省常州市天宁区青洋北路11号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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