环诚智能装备(成都)有限公司刘林获国家专利权
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龙图腾网获悉环诚智能装备(成都)有限公司申请的专利一种可提升升降温速率的热压盘及晶圆键合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119446982B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411580121.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种可提升升降温速率的热压盘及晶圆键合方法是由刘林;林镇樟;解家剑;何军设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可提升升降温速率的热压盘及晶圆键合方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆键合技术领域，公开了一种可提升升降温速率的热压盘及晶圆键合方法，热压盘包括沿轴向依次重叠设置的压接模块、加热模块、第一冷却模块和第二冷却模块。本发明通过采用双冷却模块的设计，在晶圆键合过程中的加热阶段，有利于提升在加热阶段的升温速率，能够有效避免第一冷却模块及其上的接头等部件温度过高，且无需过多的考虑第一冷却模块上的接头的焊接处骤冷骤热的形变带来的漏水或漏气问题以及耐热问题，有助于降低设计热压盘时的复杂性，并能够为热压盘提供稳定的温度环境，有利于提升温度控制精度；在晶圆键合过程中的冷却阶段，同时工作的第一冷却模块和第二冷却模块能够相互配合实现双重冷却，从而有利于提升降温速率。
本发明授权一种可提升升降温速率的热压盘及晶圆键合方法在权利要求书中公布了：1.一种可提升升降温速率的热压盘，用于晶圆的键合，其特征在于，所述热压盘包括沿轴向依次重叠设置的压接模块、加热模块、第一冷却模块和第二冷却模块； 所述加热模块具备加热功能；所述加热模块被构造成在晶圆键合过程中的加热阶段工作，以对待键合的晶圆进行加热； 所述第一冷却模块和所述第二冷却模块均具备冷却功能；所述第一冷却模块被构造成在晶圆键合过程中的冷却阶段工作，以对键合后的晶圆进行冷却； 所述第二冷却模块被构造成在晶圆键合过程中的加热阶段以及冷却阶段持续工作； 所述第一冷却模块和所述第二冷却模块的内部均设有供冷却液流通的冷却流道； 其中，当各冷却模块处于工作状态时，各冷却模块自身的冷却流道内充满所述冷却液；当各冷却模块处于非工作状态时，各冷却模块自身的冷却流道内充满空气。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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