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江苏乐萌精密科技有限公司刘嘉辉获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏乐萌精密科技有限公司申请的专利一种基于磁场分布设计的双面同步成膜的高效镀膜机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119710592B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411914291.5,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种基于磁场分布设计的双面同步成膜的高效镀膜机是由刘嘉辉;耿世杰;潘燕萍;熊超设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于磁场分布设计的双面同步成膜的高效镀膜机在说明书摘要公布了:本发明涉及真空镀膜技术领域,具体为一种基于磁场分布设计的双面同步成膜的高效镀膜机,解决了现有对OLED生产用的Mask通常采用蒸镀的方式进行镀膜,需要对Mask的两面进行两次镀膜操作,单次镀膜后为防止网片形变需静置冷却数小时,延长了镀膜时间,影响镀膜效率的问题,包括真空镀膜机构、物料安装机构和铝靶安装机构,所述真空镀膜机构的底端安装有双向调节机构,所述真空镀膜机构的前端安装有物料安装机构,所述真空镀膜机构的后端安装有铝靶安装机构,所述真空镀膜机构的两侧均安装有第一磁板机构。本发明通过可控磁场对氧化铝进行移动控制,能够同步对Mask的双面进行镀膜操作,有效提高镀膜效率,降低镀膜材料的浪费。

本发明授权一种基于磁场分布设计的双面同步成膜的高效镀膜机在权利要求书中公布了:1.一种基于磁场分布设计的双面同步成膜的高效镀膜机,包括真空镀膜机构2、物料安装机构3和铝靶安装机构4,其特征在于:所述真空镀膜机构2的底端安装有双向调节机构1,所述真空镀膜机构2的前端安装有物料安装机构3,所述真空镀膜机构2的后端安装有铝靶安装机构4,所述真空镀膜机构2的两侧均安装有第一磁板机构5,所述真空镀膜机构2的下端面安装有多个第二磁板机构6,所述双向调节机构1包括支撑底座101,所述支撑底座101上端面的中部固定安装有四个支撑腿104;所述真空镀膜机构2包括镀膜箱201,所述镀膜箱201的四个端角与四个支撑腿104均固定连接,所述镀膜箱201的上端面安装有多个呈线性排列的电离溅射单元207,所述电离溅射单元207包括接电安装盒211,所述接电安装盒211的下端面安装有绝缘托板216,所述接电安装盒211与绝缘托板216之间安装有多个绝缘套筒212,所述绝缘套筒212的内侧设有支撑弹簧213,所述支撑弹簧213的底端安装有绝缘座214,所述绝缘座214的下端面安装有电离接电头215;所述物料安装机构3包括第一密封板301,所述第一密封板301与镀膜箱201的前端可拆装连接,所述第一密封板301的底端固定安装有第一导向支撑座302,所述第一密封板301的后端面固定安装有物料安装框架305,所述物料安装框架305的内侧设有玻璃基Mask306,所述物料安装框架305的两个侧边均滑动连接有导向槽板303,每个所述导向槽板303的内侧均转动连接有多个导轮304; 所述玻璃基Mask306的表面设有多个镂空孔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏乐萌精密科技有限公司,其通讯地址为:213000 江苏省常州市新北区孟河镇政泰路288号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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