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龙图腾网获悉江苏芯势科技有限公司申请的专利一种多通道光路安装机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120103678B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510601008.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种多通道光路安装机构是由石雷;魏洪涛;王迪;张峰设计研发完成，并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多通道光路安装机构在说明书摘要公布了：本发明提供了一种多通道光路安装机构，包括量测装置机架和布置在量测装置机架上的一个或两个出光装置和多个收光装置，多个收光装置布置在与晶圆表面倾角为大于0°小于180°的空间范围内。在出光装置和收光装置上分别设有调节机构，调节机构包括支撑座和浮动盘，其中支撑座固定在量测装置机架上，浮动盘浮动连接在支撑座上，镜筒安装在浮动盘上，浮动盘带动镜筒运动，以调节出光、收光角度。在调节机构的前侧和端侧设有驱动部，驱动部包括横向驱动部和垂向驱动部，其中横向驱动部驱动浮动盘的至少一部分沿支撑座端面运动，垂向驱动部用于调节浮动盘相对支撑座的间距和倾斜度，以改变浮动盘在支撑座端面的法线方向上的高度和浮动盘的摆动角度。

本发明授权一种多通道光路安装机构在权利要求书中公布了：1.一种多通道光路安装机构，其特征在于：包括量测装置机架、一个或两个出光装置和多个收光装置，其中所述出光装置和收光装置安装在量测装置机架上；所述出光装置安装在晶圆表面法线方向和或靠近晶圆表面的倾斜方向；多个所述收光装置布置在与晶圆表面倾角为大于0°小于180°的空间范围内；在所述出光装置和收光装置上分别设有调节机构，所述调节机构包括支撑座和浮动盘，所述支撑座固定在量测装置机架上，所述浮动盘浮动连接在支撑座上，镜筒安装在所述浮动盘上；在所述调节机构的前侧和端侧设有驱动部；所述驱动部包括横向驱动部和垂向驱动部，所述横向驱动部驱动浮动盘的至少一部分沿支撑座端面运动；所述垂向驱动部用于调节浮动盘相对支撑座的间距和倾斜度； 所述横向驱动部设置在支撑座前侧，垂向驱动部设置在浮动盘端侧；在所述支撑座中间设有容置腔，所述浮动盘包括顶板和位于顶板端面上的抵接套，所述抵接套插入容置腔内，在所述顶板和支撑座端面之间设有垂向驱动部；所述横向驱动部包括两个横向驱动件，两个所述横向驱动件沿支撑座的周向隔开，所述横向驱动件与抵接套相抵接；在所述容置腔内与横向驱动件施力相平衡的位置设有弹性支撑件，所述弹性支撑件抵接在抵接套上；所述垂向驱动部包括垂向驱动件，所述垂向驱动件驱动顶板沿支撑座端面法线方向移动，或调节顶板相对所述法线的摆角。

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