默克专利有限公司刘国获国家专利权
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龙图腾网获悉默克专利有限公司申请的专利形成沉积在元素金属膜上的含钼膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115667575B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180035956.3，技术领域涉及：C23C16/08；该发明授权形成沉积在元素金属膜上的含钼膜的方法是由刘国;雅各布·伍德拉夫;让-塞巴斯蒂安·莱恩设计研发完成，并于2021-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本形成沉积在元素金属膜上的含钼膜的方法在说明书摘要公布了：提供了形成含钼膜的方法。该方法包括例如在小于或等于约400℃的第一温度下在基材表面上热沉积第一膜，以及例如在大于约400℃的第二温度下在该第一膜的至少一部分上热沉积该含钼膜第二膜。该第一膜可以包含元素金属，例如钨、钼、钌、或钴。该第二膜包含含钼前体和还原剂的反应产物。
本发明授权形成沉积在元素金属膜上的含钼膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于形成含钼膜的方法，该方法包括： A.在小于或等于400℃的第一温度下在基材表面上热沉积包含元素金属的第一膜，其中该元素金属选自由以下组成的组：钌、钴、及其组合；以及 B.在大于400℃的第二温度下在该第一膜的至少一部分上热沉积第二膜，其中该第二膜包含含钼前体与还原剂的反应产物， 其中，该热沉积该第一膜包括将第一含金属前体和共反应物递送至该基材，其中该第一含金属前体是含钌前体、含钴前体或其组合。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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