保定乐凯新材料股份有限公司;四川乐凯新材料有限公司刘明珂获国家专利权
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龙图腾网获悉保定乐凯新材料股份有限公司;四川乐凯新材料有限公司申请的专利一种用于双波长曝光的感光性树脂组合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115421355B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211138609.6,技术领域涉及:G03F7/027;该发明授权一种用于双波长曝光的感光性树脂组合物是由刘明珂;郭伟凤;王义军;颜鹏;李少龙;千昌富设计研发完成,并于2022-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于双波长曝光的感光性树脂组合物在说明书摘要公布了:本发明公开了一种适用于双波长曝光的感光性树脂组合物,第一波长范围为350nm‑370nm,第二波长范围为390nm‑410nm。该感光性树脂组合物还具有优异的曝光灵敏度、分辨率、密合性和剥离破碎性。上述感光性树脂组合物包含:A碱溶性高分子树脂;B含烯属不饱和双键的光聚合单体;C光聚合引发剂;D增感剂;E其它任选助剂。上述D增感剂包含两种吡唑啉衍生物。
本发明授权一种用于双波长曝光的感光性树脂组合物在权利要求书中公布了:1.一种适用于双波长曝光的感光性树脂组合物,第一波长范围为350nm-370nm,第二波长范围为390nm-410nm,所述感光性树脂组合物包含: (A)碱溶性高分子树脂; (B)含烯属不饱和双键的光聚合单体; (C)光聚合引发剂; (D)增感剂; (E)其它任选助剂; 其中,上述(D)增感剂包含两种吡唑啉衍生物,分别为通式(I)所示的(D-1)吡唑啉衍生物中的一种及通式(II)所示的(D-2)吡唑啉衍生物中的一种: (I)(II); 其中,R1、R2、R4、R5各自独立地表示氢、叔丁基、异丙基、甲氧基或者乙氧基,R3为甲氧基,R6为叔丁基; (D-1)与(D-2)的质量比为1:1-1:2; 其特征在于:(A)碱溶性高分子树脂的共聚单体按质量百分比包含:甲基丙烯酸单体20%-30%,甲基丙烯酸甲酯单体30%-60%,丙烯酸正丁酯单体7%-15%,苯乙烯单体10%-30%,丙烯酸羟乙酯单体1%-10%;碱溶性高分子树脂的重均分子量范围为3万-10万,分散度小于3;(A)碱溶性高分子树脂可以单独使用或两种以上混合使用。
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