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龙图腾网获悉深圳清溢光电股份有限公司申请的专利一种多参考点高精度掩膜版贴片装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115480444B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211157642.3，技术领域涉及：G03F1/68；该发明授权一种多参考点高精度掩膜版贴片装置是由张津设计研发完成，并于2022-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多参考点高精度掩膜版贴片装置在说明书摘要公布了：本发明涉及掩膜版刻划技术领域，提出了一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，包括机架，设于机架上的第一调整组件、支柱和第一推顶件，设于第一调整组件上的摄像机，设于支柱顶端的第二调整组件，设于第二调整组件上的压板，设于第一推顶件顶端的支撑台，设于支撑台上的第三调整组件，第三调整组件位于掩膜版的下方，掩膜版位于压板和第二调整组件之间，贴片位于第三调整组件和掩膜版之间，压板和掩膜版实现在XZ方向的移动和绕Y轴的转动，贴片借助第三调整组件实现XYZ方向的微调，摄像机为两个且用于定位掩膜版的位置，贴片借助第三调整组件贴合在掩膜版上。通过上述技术方案，解决了相关技术中设备贴合精度不高的问题。

本发明授权一种多参考点高精度掩膜版贴片装置在权利要求书中公布了：1.一种多参考点高精度掩膜版贴片装置，包括机架1，设于所述机架1上的第一调整组件2、支柱3和第一推顶件4，设于所述第一调整组件2上的摄像机5，设于所述支柱3顶端的第二调整组件6，设于所述第二调整组件6上的压板7，设于所述第一推顶件4顶端的支撑台8，设于所述支撑台8上的第三调整组件9，所述第三调整组件9位于掩膜版10的下方，掩膜版10位于所述压板7和所述第二调整组件6之间，贴片11位于所述第三调整组件9和掩膜版10之间，其特征在于，所述摄像机5借助所述第一调整组件2实现在空间XYZ三个方向的移动，所述压板7和掩膜版10借助所述第二调整组件6实现在XZ方向的移动和绕Y轴的转动，所述贴片11借助所述第三调整组件9实现XYZ方向的微调，所述第三调整组件9借助所述第一推顶件4实现Y方向上的移动，所述摄像机5为两个且始终位于同一高度上，所述贴片11借助所述第三调整组件9贴合在所述掩膜版10上，所述压板7开设有凹槽，所述掩膜版10上的标记点位于凹槽的投影内，所述摄像机5经过调整位于所述凹槽的正上方且用于捕捉所述掩膜版10上的标记点。

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