苏州汇富弘自动化科技有限公司余丞宏获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州汇富弘自动化科技有限公司申请的专利一种水平式自动上片机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115896906B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211320056.6,技术领域涉及:C25D17/08;该发明授权一种水平式自动上片机是由余丞宏设计研发完成,并于2022-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种水平式自动上片机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种水平式自动上片机,包括主机架,挂具夹持机构,挂具翻转机构,挂具平移机构,开关盖机构,升降式清洁检测机构及探测机构,其中挂具夹持机构安装在挂具翻转机构上,对挂具进行定位夹紧,同时由翻转机构将竖直的挂具翻转成水平,由挂具平移机构将水平状态的挂具移送至晶圆片上料处,所述开关盖机构安装在主机架上,对挂具进行外盖开关操作,所述升降式清洁检测机构安装在主机架上,对开盖后的挂具进行清洁检测,所述探测机构安装在主机架上,对上片后的挂具密封性及导电性进行探测。本发明为通用型上片机,通过更换不同的开关盖结构实现不同密封方式的解密封操作。
本发明授权一种水平式自动上片机在权利要求书中公布了:1.一种水平式自动上片机,其特征在于包括: 主机架,其工作台面上开设有第一避让孔和第二避让孔,所述第二避让孔处设有龙门架; 挂具平移机构,安装在主机架工作台面上,位于第一避让孔和第二避让孔的两侧,实现挂具在第一避让孔与第二避让孔之间的位置切换; 挂具翻转机构,安装在挂具平移机构上,通过旋转电机带动挂具在竖直和水平两个状态之间翻转; 挂具夹紧机构,安装在挂具翻转机构上,通过翻转板配合定位夹紧组件对挂具进行定位夹紧,所述翻转板上开设有第三避让孔,所述第三避让孔中心与挂具上圆孔的圆心同轴设置; 开关盖机构,安装在第二避让孔上方的龙门架上方的顶板上,通过升降组件配合开关盖组件对挂具上外盖进行开关盖,所述开关盖组件的中心与外盖圆心以及挂具上圆孔的圆心同轴设置; 升降式清洁检测机构,安装在主机架上位于第二避让孔下方,包括升降旋转组件,安装在升降旋转组件顶部的CCD相机和清洁组件,通过升降旋转组件在外盖打开后穿过挂具上的圆孔,对圆孔四周进行清洁并图像检测; 探测机构,包括安装在第二避让孔四周的平面度检测模组,通过检测气缸安装在龙门架上的导电探针和抽气检测模组,以及安装在翻转板背面与挂具上RFID相对应的RFID探测器。
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