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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种基板减薄方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115692187B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211407531.3，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权一种基板减薄方法是由刘卫坤;刘远航;付永旭设计研发完成，并于2022-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基板减薄方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基板减薄方法，其包括：将待减薄的基板放置于运输定位盘，所述运输定位盘载置基板朝向减薄单元移动；所述运输定位盘移动过程中，视觉模块检测基板相对于运输定位盘的位置；根据视觉模块的检测结果，调整基板缺口的位置，使得基板缺口与基板圆心的连线垂直于运输定位盘的移动方向，调整基板与搬运机械手抓取位置同心；运输定位盘移动至交接位置，搬运机械手夹持基板并调整基板缺口的位置；夹持有基板的搬运机械手由交接位置摆动至减薄单元的转台吸盘后，再朝向转台吸盘的边缘摆动，使得基板缺口移动至转台吸盘多孔部的边缘；搬运机械手将基板放置于转台吸盘，减薄单元的砂轮磨削基板的表面。

本发明授权一种基板减薄方法在权利要求书中公布了：1.一种基板减薄方法，其特征在于，包括： S1，将待减薄的基板放置于运输定位盘，所述运输定位盘载置基板朝向减薄单元移动； S2，所述运输定位盘移动过程中，视觉模块检测基板相对于运输定位盘的位置； S3，根据视觉模块的检测结果，调整基板缺口的位置，使得基板缺口与基板圆心的连线垂直于运输定位盘的移动方向，调整基板与搬运机械手抓取位置同心； S4，运输定位盘移动至交接位置，搬运机械手夹持基板并调整基板缺口的位置； S5，夹持有基板的搬运机械手由交接位置摆动至减薄单元的转台吸盘后，再朝向转台吸盘的边缘摆动，使得基板缺口移动至转台吸盘多孔部的外侧； S6，搬运机械手将基板放置于转台吸盘，减薄单元的砂轮磨削基板的表面； 步骤S4中，搬运机械手具有自转部，其能够带动固定盘及其上的基板旋转，使得基板缺口位于搬运机械手的摆动路径上；所述摆动路径是以搬运机械手的转动点为圆心，以L为半径旋转，固定盘的中心所经由的轨迹线； 步骤S5中，所述搬运机械手朝向转台吸盘摆动，使得其上的基板与转台吸盘同心；然后，搬运机械手再朝向转台吸盘的边缘摆动角度θ； 其中，s为基板朝向转台吸盘的边缘摆动的距离； 步骤S4及S5中的L均为搬运机械手的转动点与固定盘的中心之间的距离； 所述自转部带动固定盘沿逆时针或顺时针转动；所述搬运机械手的固定盘夹持基板旋转至搬运机械手的摆动路径时，相邻基板的旋转方向不同。

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