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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利一种基于腔内损耗模型的倾斜镜执行精度测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115753023B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211465270.0，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权一种基于腔内损耗模型的倾斜镜执行精度测量方法是由何星;田中州;杨康建;林海奇;王帅;杨平设计研发完成，并于2022-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于腔内损耗模型的倾斜镜执行精度测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于腔内损耗模型的倾斜镜执行精度测量方法，首先将待测倾斜镜作为腔镜之一搭建光腔衰荡系统。接下来向倾斜镜施加驱动产生预期角度倾斜。根据光腔衰荡系统的腔内损耗模型，可获知倾斜镜实际执行的角度倾斜量。根据实际执行角度倾斜量和预期量的偏差即可计算倾斜镜执行精度。该方法利用了衰荡腔腔内损耗对腔镜倾斜角度极为敏感的特点，在倾斜镜的执行精度测量方面具备高灵敏度，可作为倾斜镜相关性能测试的一种有效手段。

本发明授权一种基于腔内损耗模型的倾斜镜执行精度测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于腔内损耗模型的倾斜镜执行精度测量方法，其特征在于，实现步骤如下： 步骤（1）、搭建光腔衰荡系统，包括窄线宽连续波激光器（1），平面腔镜（2），平凹腔镜（3），光电探测器（4），待测倾斜镜（5），处理机（6）；其中，平面腔镜（2）、平凹腔镜（3）和待测倾斜镜（5）构成折叠型衰荡腔，窄线宽连续波激光器（1）发出激光光束，由平面腔镜（2）耦合进入衰荡腔内，衰荡腔内光强信号经平凹腔镜（3）透射进入光电探测器（4），光电探测器探测的衰荡腔透射信号交由处理机（6）进行处理； 步骤（2）、建立该光腔衰荡系统的腔内损耗模型M；所述的腔内损耗模型M为腔内损耗因子δ与倾斜镜倾斜角α之间的关系，可描述为δ=Mα x,y ，角度α下标分别表示水平方向和竖直方向；所述的腔内损耗模型的建立方法可采用理论计算、系统仿真和实验实测3种方式； 步骤（3）、向衰荡腔内注入窄线宽连续波光束，同时利用光电探测器实时监测并记录腔内透射信号，向倾斜镜施加倾斜角度量α，同时根据腔内损耗模型M计算此时实际执行的角度量θ，α与θ的差值即为该倾斜镜的执行精度；其中，所述的倾斜角度量α为水平方向记为x方向、竖直方向记为y方向的单一数值，或者为两个方向上的二维分布。

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