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西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司李佳豪获国家专利权

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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利检测晶圆表面激光打标的方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115984243B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310071140.7,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权检测晶圆表面激光打标的方法、装置、设备及存储介质是由李佳豪;史进设计研发完成,并于2023-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。

检测晶圆表面激光打标的方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种检测晶圆表面激光打标的方法、装置、设备及存储介质;所述方法包括:预先获取晶圆表面打标编码的多种异常类型;利用OCR识别系统读取待测晶圆表面的打标编码,并根据读取结果判定所述打标编码所对应的潜在异常类型;利用CCD识别系统采集所述待测晶圆表面的打标编码的图像信息,基于所述图像信息及所述潜在异常类型,按照设定的判定规则判定所述打标编码对应的实际异常类型。

本发明授权检测晶圆表面激光打标的方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种检测晶圆表面激光打标的方法,其特征在于,所述方法包括: 预先获取晶圆表面打标编码的多种异常类型; 利用光学字符识别系统读取待测晶圆表面的打标编码,并根据读取结果判定所述打标编码所对应的潜在异常类型; 利用电荷耦合器件识别系统采集所述待测晶圆表面的打标编码的图像信息,基于所述图像信息及所述潜在异常类型,按照设定的判定规则判定所述打标编码对应的实际异常类型, 其中,所述利用电荷耦合器件识别系统采集所述待测晶圆表面的打标编码的图像信息,基于所述图像信息及所述潜在异常类型,按照设定的判定规则判定所述打标编码对应的实际异常类型,包括: 基于采集的所述图像信息,按照激光打标孔径将所述待测晶圆表面的打标区域划分为多个子区域; 依次扫描每个所述子区域,采用四点定位法检查每个所述子区域内的四个点位以确定所述打标编码所对应的字符字形,并将所述打标编码所对应的字符字形与设定的字符字形进行对比,同时利用所述光学字符识别系统读取结果中的字符字形对应的读取结果校验所述打标编码所对应的字符字形与设定的字符字形的对比结果; 当所述光学字符识别系统读取结果中的字符字形对应的读取结果与所述打标编码所对应的字符字形与设定的字符字形的对比结果相一致时,利用设定直径的圆形对所述打标编码对应的激光凹坑的孔径及形貌进行检测; 当所述打标编码对应的激光凹坑的孔径及形貌检测通过时,对所述打标编码位置处的划痕进行判定; 输出所述打标编码对应的实际异常类型。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司,其通讯地址为:710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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