有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料(山东)有限公司贾倩获国家专利权
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龙图腾网获悉有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料(山东)有限公司申请的专利一种高性能大尺寸碳靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116254511B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310118418.1，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种高性能大尺寸碳靶材的制备方法是由贾倩;何金江;张晓娜;李勇军;丁照崇;许兴;刘秀设计研发完成，并于2023-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高性能大尺寸碳靶材的制备方法在说明书摘要公布了：一种高性能大尺寸碳靶材的制备方法，所述碳靶材以高纯甲烷气体为碳源气体，氮气和氢气为稀释气体和载气，采用化学气相沉积法进行制备；首先，使碳靶材在底部沿水平方向生长1‑5mm，然后，改变气体流型使碳靶材沿垂直方向生长5‑10mm，接着，再在顶部使碳靶材沿水平方向生长1‑5mm，获得两种生长方向的大尺寸碳靶坯，最后，使用机加工的方式将底部及顶部1‑5mm厚沿水平方向生长的碳去除，获得直径≥400mm，厚度5‑10mm，密度≥2.1gcm3，纯度≥5N的高性能大尺寸碳靶材；该方法与现有技术相比，具有以下优点：1可获得大尺寸碳靶材；2工艺简单、提高生产效率：3靶材密度高。
本发明授权一种高性能大尺寸碳靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种碳靶材的制备方法，包括下述步骤： （1）将直径≥400mm的石墨基体放置于化学沉积炉内，加热至1800-2000℃； （2）输入高纯甲烷、氮气和氢气使碳靶材在石墨基体底部沿水平方向沉积1-5mm； （3）改变气体流型，在步骤（2）获得的碳靶材表面沿垂直方向继续生长5-10mm； （4）再次改变气体流型，在步骤（3）获得的碳靶材表面沿水平方向继续生长1-5mm； （5）缓慢降温，获得直径≥400mm的两种生长方向未开裂的碳靶材； （6）将底部及顶部1-5mm厚沿水平方向生长的碳去除，最终获得取向单一的碳靶材； 在步骤（2）中甲烷流量范围为0.5～2.0Lmin,氮气流量范围为0.1～15Lmin，氢气流量范围为0.1～1Lmin。
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