买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉万华化学集团电子材料有限公司申请的专利一种硅片抛光组合物及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116640515B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310558803.8，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权一种硅片抛光组合物及其应用是由王庆伟;卞鹏程;王永东;徐贺;李国庆;王瑞芹;崔晓坤设计研发完成，并于2023-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片抛光组合物及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅片抛光组合物及其应用，所述硅片抛光组合物以二氧化硅水溶胶为抛光磨料、有机碱为速率促进剂，并添加有芳基正离子化合物及水溶性改性硅油。本发明通过在硅片抛光组合物中同时加入芳基正离子化合物及水溶性改性硅油，能够快速去除硅片表面腐蚀产物、减少硅片表面腐蚀残留、降低硅片表面刻蚀速率、更有利于后期清洗。

本发明授权一种硅片抛光组合物及其应用在权利要求书中公布了：1.一种硅片抛光组合物，其特征在于，所述硅片抛光组合物以二氧化硅水溶胶为抛光磨料、有机碱为速率促进剂，并添加有芳基正离子化合物及水溶性改性硅油； 以所述抛光组合物的总质量计，包括以下重量百分含量的组分： 二氧化硅水溶胶1%-80%； 速率促进剂0.5%-20%； 芳基正离子化合物0.05%-1%； 水溶性改性硅油0.05%-1%； pH调节剂0.1%-5%； 余量为去离子水； 所述芳基正离子化合物选自苯并咪唑、喹啉、苯胺、2-羟基苯胺、苯甲胺、4-羟基苯甲胺、苯乙胺、2-氨基-1-苯乙醇、苯丙胺、4-氨基联苯、联苯胺、4-氯邻甲苯胺、2-萘胺、邻氨基偶氮甲苯、5-硝基-邻甲苯胺、4-氯苯胺、4-二氨基苯甲醚、3,3´-二氯联苯胺、3,3´-二甲基联苯胺、2-甲基苯胺、2,4-二氨基甲苯、2,4,5-三甲基苯胺、2-甲氧基苯胺、4-氨基偶氮苯、2,4-二甲基苯胺、2,6-二甲基苯胺、苄基三甲基氯化铵、苄基三甲基氢氧化铵、苄基三乙基氯化铵、苄基三乙基氢氧化铵、苯基三甲基氯化铵、苯基三甲基氢氧化铵中的至少任一种； 所述水溶性改性硅油选自聚醚改性硅油、氨基改性硅油、环氧改性硅油、羧基改性硅油、醇羟基改性硅油、酚羟基改性硅油、巯基改性硅油、聚二有机硅氧烷一聚醚嵌段共聚改性硅油、烷基与聚醚共改性硅油、烷基醚聚醚硅油、环氧基聚醚硅油、氨基聚醚嵌段硅油、甘油醚基硅油、磷酸酷基硅油、糖基聚醚硅油、甜菜碱基硅油中的至少任一种； 所述硅片抛光组合物的pH值控制在9.5-12.5之间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人万华化学集团电子材料有限公司，其通讯地址为：264006 山东省烟台市经济技术开发区北京中路50号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。