中国科学院电工研究所张贺获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院电工研究所申请的专利一种二氧化钛薄膜光波导层及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116892021B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310706596.6，技术领域涉及：C23C26/00；该发明授权一种二氧化钛薄膜光波导层及其制备方法是由张贺;屈飞;平奕晨;韩立设计研发完成，并于2023-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种二氧化钛薄膜光波导层及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种二氧化钛薄膜光波导层及其制备方法，属于光电转换技术领域。本发明使用钛酸丁酯、三乙醇胺、水和乙醇为原料制备溶胶，通过浸泡和提拉，在衬底材料的结构面粘附溶胶，能够使溶胶的形状与衬底材料的结构面相同，然后通过加压热处理使溶胶发生化学反应，生成二氧化钛，从而在衬底材料的结构面形成所需的各种异质结构的二氧化钛薄膜光波导层；该方法制备工艺简单，生产效率高，制造成本低，有利于规模化量产，满足器件应用需求。实施例的结果显示，本发明提供的制备方法制备得到的二氧化钛薄膜光波导层的厚度为100～1200nm，通过控制热处理时的温度和压力，可以调控二氧化钛薄膜的折射率。
本发明授权一种二氧化钛薄膜光波导层及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种二氧化钛薄膜光波导层的制备方法，为以下步骤： （1）将钛酸丁酯、三乙醇胺、水和乙醇混合，得到溶胶； （2）将衬底材料的结构面浸泡在所述步骤（1）得到的溶胶中，取出后得到结构面附有溶胶的衬底材料； （3）将所述步骤（2）得到的结构面附有溶胶的衬底材料进行加压热处理，得到二氧化钛薄膜光波导层； 所述步骤（1）中钛酸丁酯、三乙醇胺、水和乙醇的体积比为（10~20）：（1~5）：（30~70）：（3~10）； 所述步骤（2）中浸泡的方式为：将衬底材料的结构面向下，然后将衬底材料的结构面浸泡到溶胶中5~15s，浸泡结束后缓慢提拉出来，接着自然晾干，重复此操作3~10次，得到结构面附有溶胶的衬底材料； 所述步骤（3）中加压热处理的加热方式为：先升温至50~60℃后保温1~10h，然后升温至150~400℃，保温时间10~40h； 所述步骤（3）中加压热处理的压力为1~4MPa，加压热处理的气氛为惰性气体。
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