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北京理工大学;中国船舶集团有限公司第七〇七研究所姜澜获国家专利权

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龙图腾网获悉北京理工大学;中国船舶集团有限公司第七〇七研究所申请的专利石英挠性加速度计的摆组件一体化飞秒激光复合加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116728012B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310705555.5,技术领域涉及:B23P15/00;该发明授权石英挠性加速度计的摆组件一体化飞秒激光复合加工方法是由姜澜;王猛猛;李鹏飞;朱彤;聂鲁燕;赵丙权;赵小明设计研发完成,并于2023-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。

石英挠性加速度计的摆组件一体化飞秒激光复合加工方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种石英挠性加速度计的摆组件一体化飞秒激光复合加工方法,包括步骤一、车削石英圆柱毛坯,加工出两侧圆柱状凸起结构,得到摆片;步骤二、飞秒激光加工摆片,去除两侧圆柱状凸起结构的中间部分,得到骨架;步骤三、飞秒激光加工摆片中心的通孔;步骤四、抛光摆片;步骤五、双脉冲贝塞尔光束对摆片的正反面辐照,得到贯穿摆片的改性区域;步骤六、刻蚀液刻蚀改性区域,得到U型通槽;步骤七、高斯激光加工挠性梁,得到石英挠性加速度计的摆组件一体化结构。本发明可实现摆片和骨架的一体化加工成型,减少误差源,在使用过程中不会产生残余应力,同时温度循环影响低、加工精度高,长期保持性良好。

本发明授权石英挠性加速度计的摆组件一体化飞秒激光复合加工方法在权利要求书中公布了:1.石英挠性加速度计的摆组件一体化飞秒激光复合加工方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤一、车削石英圆柱毛坯,加工出两侧圆柱状凸起结构,得到摆片1; 步骤二、飞秒激光加工摆片1,去除两侧圆柱状凸起结构的中间部分,得到骨架3; 步骤三、飞秒激光加工摆片1中心的通孔; 步骤四、抛光摆片1; 步骤五、双脉冲贝塞尔光束对摆片1的正反面辐照,得到贯穿摆片1的改性区域; 步骤六、刻蚀液刻蚀改性区域,得到U型通槽; 步骤七、高斯激光加工挠性梁2,得到石英挠性加速度计的摆组件一体化结构; 所述步骤五中,采用翻转夹具固定和转动摆片1;双脉冲贝塞尔光束通过轨迹扫描的方式,对摆片1内部的正反面进行辐照;反面加工时用CCD相机确定正面加工的痕迹,配合高精度六轴平移台进行定位,重复定位精度达到±5微米; 所述翻转夹具包括: 支撑底座9; 旋转台8,安装在所述支撑底座9上; 夹具组件,安装在旋转台8上;摆片1可拆卸连接在所述夹具组件上; 其中,所述旋转台8用于驱动所述夹具组件转动; 所述夹具组件包括顶板4和底板7;所述底板7位于所述顶板4的正下方,所述底板7安装在所述旋转台8上;所述顶板4、所述底板7通过螺栓组件可拆卸连接;所述摆片1压装在所述顶板4和所述底板7之间;所述摆片1与所述顶板4之间、所述摆片1与所述底板7之间均设有垫片5。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京理工大学;中国船舶集团有限公司第七〇七研究所,其通讯地址为:100081 北京市海淀区中关村南大街5号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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