北京航空航天大学蔡微获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117849399B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311499411.5,技术领域涉及:G01Q10/06;该发明授权开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统是由蔡微;师鑫龙设计研发完成,并于2023-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统,包括:模拟信号调理和接口模块,与扫描探针显微镜探头的位置探测器连接,接收位置探测器采集到的力传感器信号;锁相放大模块,与模拟信号调理和接口模块连接,接收力传感器信号,并基于接收到的力传感器信号确定幅值、相位、X分量和Y分量;Z轴控制模块,与模拟信号调理和接口模块、锁相放大模块均连接,其接收力传感器信号,以及接收幅值和相位,并生成驱动压电扫描台在Z方向上移动的Z向控制信号;XY轴扫描控制和成像信号采集模块,与锁相放大模块、Z轴控制模块均连接,其接收幅值、相位或X分量、Y分量以及Z向控制信号,并生成驱动压电扫描台在X方向和Y方向上移动的XY控制信号。
本发明授权开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统在权利要求书中公布了:1.一种开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统,其特征在于,所述控制系统包括: 模拟信号调理和接口模块,用于与扫描探针显微镜探头的位置探测器连接,所述模拟信号调理和接口模块接收所述位置探测器采集到的力传感器信号; 锁相放大模块,与所述模拟信号调理和接口模块连接,所述锁相放大模块接收所述模拟信号调理和接口模块输出的所述力传感器信号,并基于接收到的所述力传感器信号确定所述力传感器信号的幅值、相位、X分量和Y分量; Z轴控制模块,与所述模拟信号调理和接口模块、所述锁相放大模块均连接,所述Z轴控制模块接收所述模拟信号调理和接口模块输出的力传感器信号,以及接收所述锁相放大模块输出的幅值和相位,并生成用于驱动压电扫描台在Z方向上移动的Z向控制信号; XY轴扫描控制和成像信号采集模块,与所述锁相放大模块、Z轴控制模块均连接,所述XY轴扫描控制和成像信号采集模块接收所述锁相放大模块输出的幅值、相位或X分量、Y分量,以及接收所述Z轴控制模块输出的所述Z向控制信号,并生成用于驱动压电扫描台在X方向和Y方向上移动的XY控制信号; 所述力传感器信号为光信号或电信号,在所述力传感器信号为光信号时,所述力传感器信号包括光点水平信号和光点垂直信号;和或 所述XY轴扫描控制和成像信号采集模块生成用于控制探针抬起的抬起控制信号; 所述模拟信号调理和接口模块包括除法器、电压调理单元、单片机和显示设备,所述除法器的输入端与所述位置探测器连接,所述除法器的输出端与所述锁相放大模块和电压调理单元的输入端均连接,所述电压调理单元的输出端与所述单片机的输入端连接,所述单片机的输出端与所述显示设备连接。
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