无锡卓瓷科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司;安徽华矽半导体科技有限公司周飞获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡卓瓷科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司;安徽华矽半导体科技有限公司申请的专利一种真空下ESC吸力测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223107453U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421934926.3，技术领域涉及：G01N3/08；该实用新型一种真空下ESC吸力测试装置是由周飞;郭铁;陈占开;蔡爱玲;孙晓东;顾勇;屈长明;王家奇设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空下ESC吸力测试装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及ESC吸力测试技术领域，公开了一种真空下ESC吸力测试装置，包括真空腔体，所述真空腔体的顶部设置有顶盖，所述真空腔体的内部设置有ESC设备，所述ESC设备的顶部吸附有硅片，所述硅片的右侧从ESC设备上伸出，所述真空腔体的底部内部固定安装有支架，所述支架的顶部固定安装有导轨，所述导轨的活动端固定安装有推力计，所述推力计的推动端与硅片的外壁接触，通过ESC设备将放置在其顶部的硅片吸住，然后通过电动伸缩杆推动推力计向左移动，进而推动硅片向左移动，通过推力计显示推动过程中的最大推力，进而测得ESC设备的吸力，通过真空泵对真空腔体内抽真空，进而测得在真空环境下ESC设备的吸力。
本实用新型一种真空下ESC吸力测试装置在权利要求书中公布了：1.一种真空下ESC吸力测试装置，包括真空腔体1，其特征在于：所述真空腔体1的顶部设置有顶盖2，所述真空腔体1的内部设置有ESC设备4，所述ESC设备4的顶部吸附有硅片5，所述硅片5的右侧从ESC设备4上伸出，所述真空腔体1的底部内部固定安装有支架6，所述支架6的顶部固定安装有导轨7，所述导轨7的活动端固定安装有推力计8，所述推力计8的推动端与硅片5的外壁接触，所述支架6的顶部固定安装有电动伸缩杆9，所述电动伸缩杆9的伸长端与推力计8的右端固定连接，所述真空腔体1的正面设置有ESC电源16，所述ESC电源16通过电线与ESC设备4电连接，所述真空腔体1的右侧设置有真空泵3，所述真空泵3的抽气端通过管道与真空腔体1的内部连通。
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