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通威太阳能(金堂)有限公司孙林获国家专利权

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龙图腾网获悉通威太阳能(金堂)有限公司申请的专利槽式清洗系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223108846U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421997684.2,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型槽式清洗系统是由孙林;潘登设计研发完成,并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。

槽式清洗系统在说明书摘要公布了:本申请涉及一种槽式清洗系统,槽式清洗系统包括至少两个槽式清洗机及第二硅片转移机构。每个槽式清洗机均包括多个处理槽及第一硅片转移机构。第二硅片转移机构能够抓取硅片并使得硅片在两个槽式清洗机的处理槽之间相互转移。一方面,各个槽式清洗机能各自独立工作,在第一硅片转移机构的转移下,硅片依次通过各个处理槽依次进行各种处理;另一方面,当一个槽式清洗机的其中一个处理槽异常时,该异常的处理槽前面的硅片能通过第二硅片转移机构的转移下进入到另一个槽式清洗机进行后续的各种处理步骤,这样能避免异常的处理槽前面的硅片由于未得到及时的处理而造成报废、不良或返工缺陷,使得生产效率提高,返工率降低,报废率降低。

本实用新型槽式清洗系统在权利要求书中公布了:1.一种槽式清洗系统,其特征在于,所述槽式清洗系统包括: 至少两个槽式清洗机10,每个所述槽式清洗机10均包括多个处理槽11及能够抓取硅片并使得所述硅片在同一个所述槽式清洗机10的各个所述处理槽11之间转移的第一硅片转移机构12;及 第二硅片转移机构20,所述第二硅片转移机构20能够抓取硅片并使得所述硅片在两个所述槽式清洗机10的所述处理槽11之间相互转移。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人通威太阳能(金堂)有限公司,其通讯地址为:610400 四川省成都市金堂县淮口镇金乐路东段1号(金堂工业园区内);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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