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龙图腾网获悉中国恩菲工程技术有限公司申请的专利合成三氯氢硅的系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223102753U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422035302.4，技术领域涉及：C01B33/107；该实用新型合成三氯氢硅的系统是由司文学;杨永亮;张升学;郑红梅;陈贵娥;严大洲设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本合成三氯氢硅的系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种合成三氯氢硅的系统。该合成三氯氢硅的系统包括：三氯氢硅合成反应装置、第一气固分离单元、第一尾气处理单元、四氯化硅氢化反应装置、第二气固分离单元、第二尾气处理单元以及产物分离提纯单元。本申请上述系统通过融合三氯氢硅合成反应与四氯化硅氢化反应的工艺流程，实现了硅粉、氢气以及四氯化硅的高效利用，节省了投资和运行成本，同时减少了原料消耗量。

本实用新型合成三氯氢硅的系统在权利要求书中公布了：1.一种合成三氯氢硅的系统，其特征在于，所述合成三氯氢硅的系统包括： 三氯氢硅合成反应装置（100），用于使氯化氢和第一硅粉反应生成含有三氯氢硅的合成尾气，所述三氯氢硅合成反应装置（100）设置有氯化氢入口（101）、第一硅粉入口（102）以及合成尾气出口（103）； 第一气固分离单元（200），所述第一气固分离单元（200）设置有第一进气口（201）和第一分离气出口（202）；所述第一进气口（201）与所述合成尾气出口（103）连通； 第一尾气处理单元（300），用于富集所述第一分离气出口（202）排出的气体中的含氯硅烷以得到第一含氯硅烷富集物和第一回收氢气，所述第一尾气处理单元（300）设置有第二进气口（301）、第一含氯硅烷富集物出口（302）以及第一回收氢气出口（303）；所述第二进气口（301）与所述第一分离气出口（202）连通； 四氯化硅氢化反应装置（400），用于使四氯化硅与氢气发生氢化反应生成含有三氯氢硅的氢化尾气，所述四氯化硅氢化反应装置（400）设置有第一氢气入口（401）、四氯化硅入口（402）、第一回收氢气入口（403）、氢化尾气出口（404）以及可选的补充硅粉入口；所述第一回收氢气入口（403）与所述第一回收氢气出口（303）连通；所述补充硅粉入口用于额外引入补充硅粉至所述四氯化硅氢化反应装置（400）中； 第二气固分离单元（500），所述第二气固分离单元（500）设置有氢化尾气入口（501）、第一硅粉出口（502）和第二分离气出口（503）；所述氢化尾气入口（501）与所述氢化尾气出口（404）连通；所述第一硅粉出口（502）与所述第一硅粉入口（102）连通，用于为三氯氢硅的合成反应提供原料； 第二尾气处理单元（600），用于富集所述第二分离气出口（503）排出的气体中的含氯硅烷以得到第二含氯硅烷富集物和第二回收氢气，所述第二尾气处理单元（600）设置有第三进气口（601）、第二含氯硅烷富集物出口（602）以及第二回收氢气出口（603）；所述第三进气口（601）与所述第二分离气出口（503）连通；所述第二回收氢气出口（603）与所述第一氢气入口（401）连通； 产物分离提纯单元（700），用于对所述第一含氯硅烷富集物和或所述第二含氯硅烷富集物进行分离提纯以得到四氯化硅、三氯氢硅和渣料，所述产物分离提纯单元（700）设置有含氯硅烷富集物入口（701）、四氯化硅采出口（702）、三氯氢硅采出口（703）以及渣料排放口（704）；所述含氯硅烷富集物入口（701）与所述第一含氯硅烷富集物出口（302）以及所述第二含氯硅烷富集物出口（602）连通；所述四氯化硅采出口（702）与所述四氯化硅入口（402）连通。

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