大连皓宇电子科技有限公司王正国获国家专利权
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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种半导体设备内SPINDLE主轴的外形结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223108852U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422187177.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体设备内SPINDLE主轴的外形结构是由王正国;唐丽娜设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备内SPINDLE主轴的外形结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体设备内SPINDLE主轴的外形结构，涉及半导体设备技术领域；包括：波纹管端盖圆盘，套接在SPINDLE主轴上；波纹管组件，位于波纹管端盖圆盘下面且固定在主体框架上；铜管，内部通入有冷却水，位于波纹管组件下面且盘绕在主体框架上；上部防护罩，位于铜管下面且固定在主体框架上；下部活动护罩，位于上部防护罩下面；下部固定护罩，固定在主体框架上，且与下部活动护罩开合相连，两者对接后形成圆筒形结构。其上部防护罩设计为弧形结构，紧密贴合主体框架，进一步优化了空间利用。而下部则创新地结合了固定护罩与活动护罩，两者均呈半圆形并通过铰链相连，有效减少了空间占用，还便于内部组件的拆卸与维护。
本实用新型一种半导体设备内SPINDLE主轴的外形结构在权利要求书中公布了：1.一种SPINDLE主轴的外形结构，其特征在于，包括： 波纹管端盖圆盘，套接在SPINDLE主轴上； 波纹管组件，位于波纹管端盖圆盘下面且固定在主体框架上； 铜管，内部通入有冷却水，位于波纹管组件下面且盘绕在主体框架上； 上部防护罩，位于铜管下面且固定在主体框架上； 下部活动护罩，位于上部防护罩下面； 下部固定护罩，固定在主体框架上，且与下部活动护罩开合相连，两者对接后形成圆筒形结构； SPINDLE主体底座，位于下部活动护罩与下部固定护罩下面，起支撑作用。
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